發(fā)布時(shí)間：2017-09-08 01:16

  本文關(guān)鍵詞：基于改進(jìn)匈牙利算法和模糊邏輯控制的Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)調(diào)度方法

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【摘要】：為了滿足晶圓制造Interbay物料運(yùn)輸調(diào)度的多目標(biāo)和實(shí)時(shí)性要求,提出了一種基于改進(jìn)匈牙利算法和模糊邏輯控制的智能調(diào)度方法.首先對(duì)晶圓工件的運(yùn)輸時(shí)間、等待時(shí)間、交貨期以及加工特性這4個(gè)參數(shù)進(jìn)行加權(quán)求和,建立晶圓工件的多目標(biāo)運(yùn)輸成本模型;然后基于模糊邏輯控制的權(quán)重參數(shù)調(diào)節(jié)模型對(duì)各個(gè)權(quán)重參數(shù)進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整,進(jìn)而實(shí)時(shí)地計(jì)算晶圓工件的運(yùn)輸成本;最后以最小化運(yùn)輸成本為目標(biāo),采用改進(jìn)匈牙利算法求取晶圓工件和運(yùn)輸小車的最優(yōu)匹配方案.仿真實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,與傳統(tǒng)的幾種單一啟發(fā)式規(guī)則比較,提出的調(diào)度方法能夠有效減少晶圓工件的平均搬運(yùn)時(shí)間和平均加工周期,具有較好的綜合調(diào)度性能.
【作者單位】： 上海交通大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院;河南工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng) 調(diào)度 多目標(biāo) 模糊邏輯 匈牙利算法
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51275307) 高等學(xué)校博士學(xué)科點(diǎn)專項(xiàng)科研基金(20120073110036)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TN305;TH22
【正文快照】： 在300mm晶圓制造系統(tǒng)中,通常有數(shù)千卡(晶圓以“卡”為單位進(jìn)行搬運(yùn),每個(gè)晶圓卡包括25片晶圓)晶圓在制品,每卡晶圓需要被搬運(yùn)上千次才能完成全部工序[1].同時(shí),由于晶圓尺寸和重量的不斷增大以及對(duì)潔凈加工環(huán)境的要求,Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)已經(jīng)成為300mm晶圓制造車間的重要組成，

本文編號(hào)：811015