本文關(guān)鍵詞：具有2-空間緩沖模塊的多組合設(shè)備的優(yōu)化調(diào)度

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【摘要】：隨著半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)加工變得越來(lái)越復(fù)雜,多組合設(shè)備也越來(lái)越頻繁的被采用.多組合設(shè)備的調(diào)度關(guān)鍵在于怎么協(xié)調(diào)好相鄰機(jī)械手的操作.針對(duì)擁有2-空間緩沖模塊的單臂多組合設(shè)備,同時(shí)它的瓶頸設(shè)備被假設(shè)為處于加工-邊界,首先運(yùn)用面向資源的Petri Net對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行建模,然后在分析系統(tǒng)調(diào)度特性的基礎(chǔ)上提出了此多組合設(shè)備的周期時(shí)間一定可以達(dá)到下界,并給出了有效的調(diào)度算法.最后,用實(shí)例證明了該調(diào)度方法的可操作性.
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 多組合設(shè)備 調(diào)度 面向資源 Petri Net
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(60974098) 高等學(xué)校博士點(diǎn)學(xué)科專項(xiàng)科研基金(2009442011002)~~
【分類號(hào)】：TN305
【正文快照】： i引言在半導(dǎo)體制造業(yè)中,組合設(shè)備被廣泛的運(yùn)用到晶圓加工中.作為一種可實(shí)現(xiàn)單晶圓制造技術(shù)的集成設(shè)備,它為半導(dǎo)體制造廠商提供了一個(gè)靈活的以及可重構(gòu)并且有效的環(huán)境·它一般由4-6個(gè)加工模塊(processmodule,PM),—臺(tái)單臂或雙臂機(jī)械手(handling robot,HR)和2個(gè)用于存儲(chǔ)晶圓的裝，

本文編號(hào)：800684