本文關(guān)鍵詞：面向半導(dǎo)體制造的大數(shù)據(jù)分析平臺

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【摘要】：為充分利用半導(dǎo)體制造過程產(chǎn)生的大量數(shù)據(jù),發(fā)掘數(shù)據(jù)中蘊含的價值,對半導(dǎo)體制造過程進(jìn)行分析、預(yù)測和調(diào)控,建立了半導(dǎo)體制造大數(shù)據(jù)分析平臺。歸納得出了半導(dǎo)體制造過程中大數(shù)據(jù)的特性,提出了半導(dǎo)體制造大數(shù)據(jù)分析體系架構(gòu),分析了其關(guān)鍵技術(shù)和實現(xiàn)方法。根據(jù)半導(dǎo)體制造過程中大數(shù)據(jù)的使用特點,將數(shù)據(jù)導(dǎo)入、去重、篩選、標(biāo)準(zhǔn)化等共性操作歸入平臺通用預(yù)處理層;預(yù)處理后的數(shù)據(jù)進(jìn)入數(shù)據(jù)倉庫層,在數(shù)據(jù)倉庫中按主題進(jìn)行組織;最上方的專用處理算法層根據(jù)上層應(yīng)用的特定數(shù)據(jù)要求,從數(shù)據(jù)倉庫中抽取數(shù)據(jù),使用專用算法進(jìn)行處理,為其提供標(biāo)準(zhǔn)化、可靠、可復(fù)用的數(shù)據(jù)資源。最后基于半導(dǎo)體制造企業(yè)的實際情況搭建了原型系統(tǒng),對半導(dǎo)體制造過程產(chǎn)生的大量實際數(shù)據(jù)進(jìn)行導(dǎo)入、存儲、組織和預(yù)處理,并進(jìn)行了性能測試和常用統(tǒng)計分析算法測試。
【作者單位】： 上海交通大學(xué)機(jī)械與動力工程學(xué)院;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 大數(shù)據(jù) 制造過程數(shù)據(jù) 半導(dǎo)體制造 分布式處理 Hadoop
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51435009,51275307)~~
【分類號】：TN305;TP311.13
【正文快照】： 2.中芯國際集成電路制造(上海)有限公司,上海201203)0引言半導(dǎo)體制造是半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的核心和基礎(chǔ)。它基于薄膜工藝、圖形化工藝、摻雜工藝、熱處理工藝4種基本工藝,通過大量的工藝組合和工藝變化,在晶圓表面和表面內(nèi)制造出滿足特定功能的半導(dǎo)體器件[1]。半導(dǎo)體制造系統(tǒng)

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

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4 丁力;徐華;王家^，

本文編號：781821