本文關鍵詞：硅基超疏水跨尺度微納結構的制備，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：提出了一種可行的制備超疏水跨尺度微納結構的方法,該方法基于衍射干涉光刻技術,制備出擁有跨尺度的光刻膠結構陣列。建立衍射干涉光刻模型,采用嚴格耦合波分析(RCWA)方法對衍射干涉形成的光強分布進行理論分析;通過衍射干涉光刻技術制備出跨尺度微納光刻膠陣列。最后用ICP-Bosch干法刻蝕工藝,將跨尺度光刻膠結構轉移到硅基底上,制備出高深寬比硅管狀結構,其頂部是跨尺度微納錐形結構,利用接觸角測量儀對制備的樣品表面的浸潤性能進行了測試,測試結果表明該跨尺度微納結構達到超疏水性能。
【作者單位】： 九江學院機械與材料工程學院;
【關鍵詞】： 衍射干涉 理論分析 跨尺度結構 ICP-Bosch工藝 超疏水性能
【基金】：江西省青年科學基金資助項目(20151BAB216019) 九江學院重點資助項目(2015LGZD04)
【分類號】：TN305.7
【正文快照】： 0引言近年來,超疏水表面潤濕性能引起了國內(nèi)外研究人員的普遍關注。超疏水表面,一般是指其與水的接觸角大于150°,滾動角小于10°。自然界中很多植物葉如荷葉和水稻葉等的表面,水滴落上其表面之后都會馬上滾落,且不留下痕跡,這就是所謂的“荷葉效應”[1-3]。基于荷葉效應制作

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 江雷;從自然到仿生的超疏水納米界面材料[J];科技導報;2005年02期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 朱小濤;張招柱;;兼具耐磨功能和可修復功能的超疏水材料[A];中國化學會第28屆學術年會第12分會場摘要集[C];2012年

2 銀龍;王慶軍;陳慶民;;自然與仿生荷葉表面在極端相對濕度下的超疏水性質(zhì)[A];2011年全國高分子學術論文報告會論文摘要集[C];2011年

3 伍廉奎;胡吉明;張鑒清;;基于電沉積二氧化硅薄膜的超疏水表面[A];中國化學會第28屆學術年會第10分會場摘要集[C];2012年

4 劉瑋;盧士香;徐文國;;鋅基底表面超疏水薄膜的制備和表征[A];第十六屆全國分子光譜學學術會議論文集[C];2010年

5 張靚;趙寧;徐堅;;氰基丙烯酸甲酯聚合一步制備超疏水涂層[A];2011年全國高分子學術論文報告會論文摘要集[C];2011年

6 張燕;李文;馬福民;丁一剛;;一步浸泡法制備微米結構的超疏水鋅表面[A];中國化學會2013年中西部地區(qū)無機化學化工學術研討會論文集[C];2013年

7 楊昊煒;肖斐;;溶膠凝膠法制備有機硅氧烷超疏水薄膜及其熱穩(wěn)定性研究[A];第七屆中國功能材料及其應用學術會議論文集（第5分冊）[C];2010年

8 廖張潔;朱鐘鳴;郭宏磊;彭懋;;透明抗靜電超疏水材料的制備[A];2010年全國高分子材料科學與工程研討會學術論文集（下冊）[C];2010年

9 張繼琳;韓艷春;;超疏水-超親油單分子層表面的制備[A];2005年全國高分子學術論文報告會論文摘要集[C];2005年

10 陳醫(yī)嘉;徐文國;盧士香;;超疏水膜制備方法的研究進展[A];中國化學會第26屆學術年會納米化學分會場論文集[C];2008年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 科信;超疏水塑料薄膜研制成功[N];中國化工報;2004年

2 王啟兵;超疏水納米二氧化硅研制成功[N];中國化工報;2006年

3 記者 李峰;蘭州化學物理研究所獲得兩項發(fā)明專利[N];甘肅日報;2011年

4 宋麗;洗滌技術的革命[N];山東科技報;2001年

5 華凌;澳開發(fā)出超疏水防霧納米結構[N];科技日報;2014年

6 陳功;超雙疏陣列碳納米管膜研制成功[N];中國有色金屬報;2002年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李坤泉;超疏水表面的構造和有機/無機雜化超疏水涂層的制備與性能研究[D];華南理工大學;2015年

2 劉秦;微機電系統(tǒng)材料表面疏水/超疏水薄膜的制備及功能特性研究[D];華南理工大學;2015年

3 彭珊;超疏水/超雙疏材料的制備及其性能研究[D];華南理工大學;2015年

4 姚同杰;超疏水材料的制備與應用[D];吉林大學;2009年

5 范友華;超疏水涂層的制備及其在模擬環(huán)境中的防腐蝕性能研究[D];中南大學;2014年

6 王媛怡;冷凝現(xiàn)象對超疏水表面主動防冰/疏冰功能的影響及驗證[D];南京大學;2015年

7 阮敏;鋁基超疏水材料的制備及其抗覆冰性能的實驗和理論研究[D];武漢大學;2013年

8 屈孟男;從自然到仿生：超疏水材料制備方法研究[D];蘭州大學;2008年

9 王會杰;超疏水功能界面的制備及應用[D];中國科學技術大學;2015年

10 郗金明;超疏水、超雙疏材料的制備與研究[D];中國科學院研究生院（國家納米科學中心）;2008年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 江培國;功能化超疏水材料的制備[D];華南理工大學;2015年

2 姚凱;超疏水薄膜的制備及其應用研究[D];華南理工大學;2015年

3 范少濤;仿生超疏水表面滑移流動減阻的數(shù)值研究[D];華南理工大學;2015年

4 劉峰;提高超疏水性生物質(zhì)基材料穩(wěn)定性和耐久性的研究[D];東北林業(yè)大學;2015年

5 巢光華;鋁合金超疏水膜的制備及防護性能研究[D];湖南工業(yè)大學;2015年

6 張先營;仿生超疏水表面的制備及其潤濕性研究[D];蘇州大學;2015年

7 戎晨;基于石墨稀疏水自清潔表面的構筑與研究[D];蘇州大學;2015年

8 張曉艷;超疏水皮革涂層構筑的研究[D];陜西科技大學;2015年

9 唐永強;含氟納米雜合涂層的制備及其超疏水與防覆冰性能[D];浙江大學;2015年

10 韓慶雨;多尺度功能化Fe_3O_4及其聚合物超疏水復合涂膜的制備與性能研究[D];杭州師范大學;2015年

  本文關鍵詞：硅基超疏水跨尺度微納結構的制備，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號：510164