本文關(guān)鍵詞：基于DBSCAN與FSVM的半導(dǎo)體生產(chǎn)線成品率預(yù)測(cè)方法，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：成品率是半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的關(guān)鍵性能指標(biāo),對(duì)其進(jìn)行預(yù)測(cè)分析能夠有效控制芯片的生產(chǎn)成本、提高芯片質(zhì)量,而芯片缺陷問(wèn)題是制約成品率水平的關(guān)鍵因素。因此,研究一種密度聚類(lèi)與模糊支持向量機(jī)相融合的半導(dǎo)體生產(chǎn)線成品率預(yù)測(cè)方法。首先,采用密度聚類(lèi)方法對(duì)晶圓缺陷聚集特性進(jìn)行分析,獲取缺陷分布模式參數(shù)和密度參數(shù),作為成品率預(yù)測(cè)模型的輸入?yún)?shù);然后,針對(duì)缺陷與成品率之間存在的模糊關(guān)系,利用模糊規(guī)則并結(jié)合支持向量機(jī)方法構(gòu)建半導(dǎo)體生產(chǎn)線成品率預(yù)測(cè)模型;最后利用成品率預(yù)測(cè)結(jié)果對(duì)晶圓缺陷聚集特性進(jìn)行定性分析,確定缺陷問(wèn)題的來(lái)源,并提出相應(yīng)的改善措施。通過(guò)仿真實(shí)驗(yàn)表明,所提方法的預(yù)測(cè)精度優(yōu)于常用的泊松模型和二項(xiàng)式模型,具有更好的可行性。
【作者單位】： 北京化工大學(xué)信息科學(xué)與技術(shù)學(xué)院;吉林大學(xué)符號(hào)計(jì)算與知識(shí)工程教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;清華大學(xué)自動(dòng)化系;
【關(guān)鍵詞】： 半導(dǎo)體生產(chǎn)線 成品率 基于密度的聚類(lèi)方法 模糊支持向量機(jī)
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51375038) 高等學(xué)校博士學(xué)科點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)科研基金博導(dǎo)類(lèi)課題資助項(xiàng)目(20130010110009) 北京市自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(4162046) 吉林大學(xué)符號(hào)計(jì)算與知識(shí)工程教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放課題資助項(xiàng)目(93K172014K05)~~
【分類(lèi)號(hào)】：TN305
【正文快照】： 0引言在半導(dǎo)體市場(chǎng)需求變化快速、行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)白熱化的背景下,提高產(chǎn)品質(zhì)量、控制生產(chǎn)成本已成為企業(yè)能否在市場(chǎng)中生存的重要因素。成品率是評(píng)價(jià)半導(dǎo)體生產(chǎn)線產(chǎn)品質(zhì)量?jī)?yōu)劣的關(guān)鍵指標(biāo),對(duì)其進(jìn)行預(yù)測(cè)分析有助于控制芯片生產(chǎn)成本、提高芯片質(zhì)量[1]。目前,國(guó)內(nèi)外學(xué)者對(duì)成品率的預(yù)測(cè)主

  本文關(guān)鍵詞：基于DBSCAN與FSVM的半導(dǎo)體生產(chǎn)線成品率預(yù)測(cè)方法，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號(hào)：506926