本文關鍵詞：鍺襯底表面圓柱形仿生蛾眼抗反射微結構的研制，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：采用嚴格耦合波分析方法研究了長波紅外波段鍺基底的圓柱形周期陣列仿生蛾眼抗反射微結構的衍射特性,并進行理論分析和模擬仿真驗證。重點分析了周期、深度、占空比和整體面型輪廓等參數(shù)對微結構抗反射特性的影響,得出具有較好抗反射效果的結構組合參數(shù)。采用二元曝光技術和反應離子刻蝕技術在鍺基底上制備該亞波長周期微結構。通過熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡對微結構表面形貌進行表征,并應用紅外成像光譜儀在長波紅外波段分別對雙面拋光鍺片、單面微結構和雙面微結構進行測試對比,結果顯示在8~12μm范圍內雙面微結構的反射率小于8%,基本達到設計要求。
【作者單位】： 長春理工大學光電工程學院;華中光電技術研究所武漢光電國家實驗室;
【關鍵詞】： 光學設計 抗反射結構 亞波長微結構 嚴格耦合波分析 反應離子刻蝕技術
【基金】：國家自然科學基金(61108044) 吉林省自然科研基金(20150101038JC)
【分類號】：TN304.11
【正文快照】： 1引言鍺是一種重要的半導體材料,用于制造晶體管及各種電子裝置。鍺的主要終端應用為光纖系統(tǒng)與紅外0522004-1線光學,尤其是紅外熱成像系統(tǒng)中窗口和透鏡,也用于聚合反應的催化劑,以及電子用途與太陽能電力等[1-4]。由于單晶鍺的折射率(n=4.01)較大,導致其表面反射損失在37%以

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  本文關鍵詞：鍺襯底表面圓柱形仿生蛾眼抗反射微結構的研制，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號：419398