掃描電子顯微鏡在科研和實(shí)際工作中扮演著越來(lái)越重要的角色,在集成電路行業(yè)常常被用來(lái)測(cè)量器件的關(guān)鍵尺寸。集成電路器件在進(jìn)行表征時(shí)容易形成電荷積累,電荷積累會(huì)嚴(yán)重干擾檢測(cè)系統(tǒng)的圖像質(zhì)量而影響測(cè)量器件尺寸的精度。使用荷電控制電子槍是一種常見(jiàn)且有效消除電荷積累的方式,荷電控制電子槍的特性直接影響著成像質(zhì)量和檢測(cè)效率。目前國(guó)內(nèi)缺少有效針對(duì)荷電控制電子槍性能評(píng)價(jià)的研究,本文提出了一種法拉第杯小孔掃描測(cè)量方法并搭建了一套測(cè)試平臺(tái),在該平臺(tái)上對(duì)自主研制的電子槍進(jìn)行了束斑大小、束流密度分布和發(fā)散角等電子束特性測(cè)量,這將為對(duì)荷電控制電子槍的優(yōu)化設(shè)計(jì)和安裝調(diào)試起到了指導(dǎo)作用。

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【文章目錄】：
1 束斑的測(cè)試方法與測(cè)試平臺(tái)搭建
    1.1 測(cè)試對(duì)象——荷電控制電子槍的介紹
    1.2 束斑測(cè)試的主要方法及其原理
    1.3 法拉第杯小孔掃描法
    1.4 測(cè)試平臺(tái)組成
2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及分析
    2.1 實(shí)驗(yàn)具體步驟
    2.2 電子束均勻性測(cè)量
    2.3 電子束發(fā)散角的測(cè)量
3 結(jié)論



本文編號(hào)：3932630