工作在日盲區(qū)(200²80nm)的紫外光電導(dǎo)傳感器,不容易受自然環(huán)境干擾,在日光環(huán)境下仍然能夠進(jìn)行探測,誤報(bào)率低,具有獨(dú)特的探測優(yōu)勢,在宇宙探索、導(dǎo)彈追蹤、火焰預(yù)警等軍事及民用領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。β-Ga₂O₃薄膜光電導(dǎo)傳感器,材料為金屬氧化物容易獲取,可通過磁控濺射或者分子束外延方式制備較好的感光薄膜,制備工藝簡單,成本較低,且禁帶寬度為4.9eV,不需要進(jìn)行摻雜即可工作在日盲波段,探測背景極為干凈,是制備日盲紫外探測的理想材料。但光電導(dǎo)響應(yīng)時(shí)間較長,在秒量級,需對影響其時(shí)間響應(yīng)性能條件進(jìn)行進(jìn)一步研究。目前對于β-Ga₂O₃光電導(dǎo)探測研究僅限于探針臺(tái)測試環(huán)境,響應(yīng)性能并不能完全體現(xiàn)在具體電路應(yīng)用中,對具體應(yīng)用還需進(jìn)一步測試。探測發(fā)現(xiàn)探針臺(tái)能夠探測到極小的光生電流,但對于具體電路探測而言,由于探測精度及電阻反饋型探測電路動(dòng)態(tài)范圍約束,使得弱光探測較為困難,需要對探測電路進(jìn)行優(yōu)化。且Ga₂O₃光電導(dǎo)探測及成像陣列在國內(nèi)幾乎沒有具體應(yīng)...

【文章頁數(shù)】：62 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
第一章 緒論
    1.1 引言
    1.2 紫外探測發(fā)展現(xiàn)狀
    1.3 課題研究工作的目的和意義
    1.4 本論文的結(jié)構(gòu)安排
第二章 紫外光電導(dǎo)探測概述
    2.1 紫外傳感器類型及探測原理
    2.2 紫外光電導(dǎo)探測器
    2.3 紫外探測主要性能參數(shù)
    2.4 本章小結(jié)
第三章 Ga₂O₃光電導(dǎo)傳感器的制備
    3.1 Ga₂O₃傳感器的制備
        3.1.1 β-Ga₂O₃傳感器結(jié)構(gòu)
        3.1.2 β-Ga₂O₃傳感器制備過程
    3.2 藍(lán)寶石基片退火條件測試
        3.2.1 退火過程
        3.2.2 退火器件性能測試
    3.3 本章小結(jié)
第四章 Ga₂O₃光電導(dǎo)傳感器的測試
    4.1 探測器封裝及轉(zhuǎn)接板的焊接
    4.2 測試環(huán)境搭建及測試方式選取
    4.3 基本探測電路架構(gòu)
    4.4 光電導(dǎo)探測器響應(yīng)特性測試
        4.4.1 光暗電流IV響應(yīng)測試
        4.4.2 光強(qiáng)響應(yīng)度測試
        4.4.3 波長響應(yīng)度測試
        4.4.4 時(shí)間響應(yīng)度測試
    4.5 時(shí)間響應(yīng)影響因素測試
        4.5.1 退火時(shí)間影響測試
        4.5.2 偏置電壓影響測試
        4.5.3 應(yīng)力影響測試
        4.5.4 叉指寬度影響測試
        4.5.5 薄膜質(zhì)量影響測試
    4.6 本章小結(jié)
第五章 探測電路的優(yōu)化
    5.1 高精度大動(dòng)態(tài)范圍探測電路
    5.2 數(shù)字化探測電路單元
    5.3 像素陣列仿真
    5.4 本章小結(jié)
第六章 結(jié)論
致謝
參考文獻(xiàn)
攻碩期間取得的研究成果



本文編號：3872569