光刻機技術是現(xiàn)代電子信息技術的核心,而光刻機平臺調平技術又是光刻機技術中不可或缺的一部分。利用光刻機平臺調平技術對光刻機平臺進行調平,將有助于提高光刻過程中光刻曝光的質量。目前傳統(tǒng)的光刻機平臺調平技術,主要以基于光路反射的光刻機調平為主,對于光路設計和硬件實現(xiàn)的要求很高,而且較為容易受到實驗環(huán)境的干擾。此外,目前普遍采用的成像檢測設備是線性CCD,而線性CCD比較容易受到實驗過程中的速度干擾從而影響調平角度檢測精度和效果。本文在傳統(tǒng)的光刻機調平技術的基礎上,提出了一種新的基于線性CCD自適應成像的光刻機平臺調平方法。主要研究內容如下:1)基于線性CCD成像容易受到掃描速度擾動的干擾,本文設計了線性CCD自適應成像方法,使得線性CCD掃描成像抗干擾能力更強,從而增強了本文提出的調平方法的適應環(huán)境干擾的能力。2)為簡化光刻機調平的硬件要求,在傳統(tǒng)的基于光路反射的光刻機平臺調平方法基礎上,設計了基于垂直投影成像的傾斜角度計算方法。以線性CCD成像為基礎進行調平角度計算,簡化了傳統(tǒng)的調平角度計算過程。3)本文利用raL8192-12gm型線陣相機、C++和C#等多種軟件開發(fā)環(huán)境,通過軟件和硬件...

【文章頁數(shù)】：87 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
第一章 緒論
    1.1 課題研究的背景及意義
    1.2 光刻機工作臺控制系統(tǒng)
    1.3 光刻機工作臺調平技術研究現(xiàn)狀
    1.4 本文主要內容
第二章 基于CCD的光刻機調平系統(tǒng)
    2.1 電荷耦合器件圖像傳感器介紹
        2.1.1 CCD結構與成像原理
        2.1.2 線性CCD與面陣CCD
        2.1.3 掃描速度和掃描頻率
    2.2 基于線性CCD的光刻機平臺調平系統(tǒng)
        2.2.1 系統(tǒng)結構
        2.2.2 系統(tǒng)原理
    2.3 基于CCD的光刻機調平問題分析
        2.3.1 掃描成像問題分析
        2.3.2 傾斜角計算問題分析
    2.4 基于CCD自適應成像的調平系統(tǒng)設計目標
    2.5 本章小結
第三章 基于圖像自適應分割的線性CCD變速掃描成像方法
    3.1 傳統(tǒng)線性CCD的二維成像及其問題
    3.2 基于圖像自適應分割的線性CCD二維變速成像方法總體設計
        3.2.1 算法基本原理
        3.2.2 算法基本結構
    3.3 自適應區(qū)間分割
        3.3.1 自適應區(qū)間分割原理
        3.3.2 自適應區(qū)間分割具體方法
    3.4 掃描速度曲線擬合
        3.4.1 掃描速度曲線擬合原理
        3.4.2 掃描速度曲線擬合具體方法
    3.5 補償系數(shù)計算方法
    3.6 圖像像素級插值變換
    3.7 實驗結果分析
        3.7.1 實驗環(huán)境及參數(shù)
        3.7.2 標準速度勻速掃描成像實驗
        3.7.3 低速度低擾動變速掃描成像實驗
        3.7.4 低速度強擾動變速掃描成像實驗
        3.7.5 高速變速掃描成像實驗
        3.7.6 實驗結論
    3.8 本章小結
第四章 基于線性CCD成像的光刻機調平角度計算方法
    4.1 基于線性CCD成像的光刻機調平角度計算模型
        4.1.1 投影原理基礎
        4.1.2 平臺傾斜度計算模型
        4.1.3 平臺傾斜度原理
    4.2 圖像信息提取模塊
        4.2.1 圖像降噪處理方法
        4.2.2 圖像邊緣銳化方法
        4.2.3 圖像信息提取方法
    4.3 傾斜平面法線向量計算方法
    4.4 X軸和Y軸兩個方向的傾斜度計算方法
    4.5 傾斜度計算實驗結果
        4.5.1 實驗環(huán)境及實驗參數(shù)
        4.5.2 實驗結果
        4.5.3 實驗結論及實驗誤差分析
    4.6 本章小結
第五章 光刻機平臺調平系統(tǒng)的實現(xiàn)
    5.1 調平系統(tǒng)實現(xiàn)的總體架構
        5.1.1 信息采集模塊
        5.1.2 傾斜角度計算模塊
    5.2 線性CCD控制過程總體架構
    5.3 線性CCD硬件結構及觸發(fā)模式介紹
        5.3.1 線性CCD觸發(fā)模式介紹
        5.3.2 線性CCD觸發(fā)方式設計方案
    5.4 線性CCD控制軟件設計
        5.4.1 相機初始化軟件設計
        5.4.2 圖像獲取軟件設計
    5.5 調平角度計算軟件設計
        5.5.1 自適應掃描成像模塊軟件設計
        5.5.2 傾斜角計算軟件模塊軟件設計
    5.6 本章小結
第六章 總結與展望
    6.1 全文總結
    6.2 后續(xù)工作展望
致謝
參考文獻
攻讀博士學位期間取得的成果



本文編號：3852313