本文關(guān)鍵詞：浸沒流場(chǎng)微振動(dòng)力測(cè)試及動(dòng)態(tài)補(bǔ)償研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：浸沒式光刻是目前在45納米以下集成電路生產(chǎn)線上唯一獲得大規(guī)模應(yīng)用的投影光刻新技術(shù),區(qū)別于傳統(tǒng)的干式光刻法,浸沒式光刻通過在最后一片投影物鏡和硅片之間填充浸沒液體提高曝光分辨率,為了保證良品率,浸沒系統(tǒng)采用了持續(xù)更新技術(shù)來確保浸沒液體的純凈度、溫度等環(huán)境指標(biāo)滿足要求,但注液與回收系統(tǒng)會(huì)帶來流場(chǎng)的不穩(wěn)定,產(chǎn)生振動(dòng),可能會(huì)引起曝光線條的堆疊和交錯(cuò)等缺陷,所以對(duì)浸沒流場(chǎng)振動(dòng)力的監(jiān)測(cè)非常有必要,但浸沒流場(chǎng)振動(dòng)力只有±0.2N,頻率高達(dá)300Hz左右,實(shí)現(xiàn)這樣小量程高頻響的測(cè)試系統(tǒng)設(shè)計(jì)是一個(gè)很大的難題(具體見第二章)。本課題主要研究了低頻響測(cè)試系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償,以實(shí)現(xiàn)高精度高響應(yīng)的動(dòng)態(tài)測(cè)試要求,在此過程中主要研究了以下問題：1)分析本課題中測(cè)試系統(tǒng)出現(xiàn)動(dòng)態(tài)失真的具體原因除了傳感器性能限制,也在于間接測(cè)量帶來的中間傳輸環(huán)節(jié)的低通濾波效應(yīng),并通過設(shè)計(jì)頻譜測(cè)試實(shí)驗(yàn)進(jìn)行了驗(yàn)證；2)動(dòng)態(tài)建模實(shí)驗(yàn)中,突破了傳統(tǒng)上負(fù)階躍力加載方式的選擇,采用電磁階躍力,使得實(shí)驗(yàn)平臺(tái)搭建更加簡(jiǎn)單,負(fù)階躍力調(diào)節(jié)更加精準(zhǔn)方便,調(diào)節(jié)范圍更大；3)分析發(fā)現(xiàn),負(fù)階躍響應(yīng)振蕩信號(hào)的頻帶,與剩磁效應(yīng)引起干擾信號(hào)的頻帶不重合,從而采用高通濾波器消除了電磁負(fù)階躍力的剩磁抬升干擾,提高系統(tǒng)建模的精度；4)針對(duì)負(fù)階躍響應(yīng)出現(xiàn)的波形局部失真和響應(yīng)特點(diǎn),提出了全波模型辨識(shí)與截波參數(shù)優(yōu)化相結(jié)合的方法,實(shí)現(xiàn)了測(cè)試系統(tǒng)的建模,并采用基于最小二乘法的遺傳算法實(shí)現(xiàn)了滿意的參數(shù)優(yōu)化效果；5)結(jié)合靜態(tài)重標(biāo)定與動(dòng)態(tài)補(bǔ)償對(duì)測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行性能改善,實(shí)現(xiàn)了小測(cè)量范圍內(nèi)的高精度與高頻響的測(cè)試系統(tǒng)設(shè)計(jì)與測(cè)試性能評(píng)價(jià),動(dòng)態(tài)頻響≥300Hz,拓寬≥47%,測(cè)試精度≥±0.024N,達(dá)到系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求。
【關(guān)鍵詞】：振動(dòng)力 動(dòng)態(tài)補(bǔ)償 系統(tǒng)建模 靜態(tài)標(biāo)定 參數(shù)優(yōu)化 最小二乘法 遺傳算法 頻譜分析
【學(xué)位授予單位】：浙江大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TN305.7
【目錄】：

• 致謝4-5
• 摘要5-6
• ABSTRACT6-12
• 1 緒論12-26
• 1.1 課題的研究背景及意義12-14
• 1.1.1 浸沒式光刻技術(shù)簡(jiǎn)介12-13
• 1.1.2 本課題的研究意義13-14
• 1.2 動(dòng)態(tài)系統(tǒng)建模理論調(diào)研14-15
• 1.3 動(dòng)態(tài)系統(tǒng)補(bǔ)償調(diào)研15-21
• 1.3.1 測(cè)試系統(tǒng)動(dòng)態(tài)誤差及其補(bǔ)償?shù)母拍?/span>15-17
• 1.3.2 測(cè)試系統(tǒng)動(dòng)態(tài)誤差補(bǔ)償過程17-18
• 1.3.3 動(dòng)態(tài)補(bǔ)償研究現(xiàn)狀18-21
• 1.4 研究?jī)?nèi)容及方案21-26
• 1.4.1 課題來源21-23
• 1.4.2 研究?jī)?nèi)容23
• 1.4.3 研究目標(biāo)23-26
• 2 浸沒流場(chǎng)振動(dòng)力測(cè)試方案設(shè)計(jì)26-43
• 2.1 浸沒流場(chǎng)介紹及振動(dòng)受力分析26-29
• 2.1.1 浸沒流場(chǎng)及振動(dòng)力介紹26-27
• 2.1.2 浸沒流場(chǎng)各受力體受力分析27-28
• 2.1.3 硅片振動(dòng)加速度測(cè)試28-29
• 2.1.4 浸沒流場(chǎng)受力分析總結(jié)29
• 2.2 傳感器及設(shè)備調(diào)研29-30
• 2.3 振動(dòng)信號(hào)頻譜測(cè)試30-39
• 2.3.1 頻譜測(cè)試的目的30-31
• 2.3.2 振動(dòng)頻譜測(cè)試方案31-33
• 2.3.3 振動(dòng)頻譜測(cè)試系統(tǒng)搭建33-34
• 2.3.4 頻譜測(cè)試數(shù)據(jù)采集及分析34-39
• 2.4 浸沒流場(chǎng)振動(dòng)力測(cè)試方案39-41
• 2.4.1 影響測(cè)試方案設(shè)計(jì)的因素39-41
• 2.4.2 總體測(cè)試方案41
• 2.5 振動(dòng)力測(cè)試方案實(shí)施流程41-42
• 2.6 本章小結(jié)42-43
• 3 浸沒流場(chǎng)振動(dòng)力測(cè)試系統(tǒng)靜態(tài)標(biāo)定43-50
• 3.1 靜態(tài)標(biāo)定實(shí)驗(yàn)方案43-45
• 3.1.1 方案說明及介紹43-44
• 3.1.2 實(shí)驗(yàn)器材說明及介紹44
• 3.1.3 靜態(tài)標(biāo)定實(shí)驗(yàn)過程說明44-45
• 3.2 靜態(tài)標(biāo)定實(shí)驗(yàn)分析45-49
• 3.2.1 實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)初步分析45-46
• 3.2.2 測(cè)試系統(tǒng)靜態(tài)模型分析46
• 3.2.3 力傳感器靜態(tài)技術(shù)指標(biāo)定義46-47
• 3.2.4 測(cè)試系統(tǒng)精度指標(biāo)計(jì)算47-49
• 3.3 浸沒流場(chǎng)振動(dòng)力靜態(tài)標(biāo)定結(jié)果評(píng)定49
• 3.4 本章小結(jié)49-50
• 4 浸沒流場(chǎng)振動(dòng)力測(cè)試系統(tǒng)動(dòng)態(tài)建模50-91
• 4.1 測(cè)試系統(tǒng)動(dòng)態(tài)建模實(shí)驗(yàn)方案50
• 4.2 測(cè)試系統(tǒng)平臺(tái)設(shè)計(jì)與搭建50-53
• 4.2.1 浸沒流場(chǎng)振動(dòng)力測(cè)試平臺(tái)50-52
• 4.2.2 動(dòng)態(tài)建模實(shí)驗(yàn)平臺(tái)52-53
• 4.3 負(fù)階躍實(shí)驗(yàn)方案可行性分析53-57
• 4.3.1 負(fù)階躍力實(shí)現(xiàn)方式53-54
• 4.3.2 電磁負(fù)階躍力方案驗(yàn)證54-57
• 4.3.3 電磁加載的剩磁和磁滯問題57
• 4.4 系統(tǒng)建模實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理方案及初步分析57-60
• 4.5 測(cè)試系統(tǒng)模型參數(shù)初始值估計(jì)60-74
• 4.5.1 負(fù)階躍響應(yīng)曲線處理及分析60-65
• 4.5.2 測(cè)試系統(tǒng)模型類型初步辨識(shí)65-68
• 4.5.3 二階系統(tǒng)負(fù)階躍響應(yīng)理論分析68-71
• 4.5.4 基于響應(yīng)曲線的參數(shù)理論估計(jì)71-73
• 4.5.5 基于參數(shù)估計(jì)的動(dòng)態(tài)性能評(píng)價(jià)73-74
• 4.6 模型參數(shù)優(yōu)化方案及數(shù)據(jù)預(yù)處理74-81
• 4.6.1 優(yōu)化方案及可行性分析74-76
• 4.6.2 參數(shù)優(yōu)化數(shù)據(jù)的濾波76-80
• 4.6.3 參數(shù)優(yōu)化數(shù)據(jù)的選擇80-81
• 4.7 基于遺傳算法的模型參數(shù)優(yōu)化分析81-86
• 4.7.1 遺傳算法簡(jiǎn)介81-82
• 4.7.2 適應(yīng)度函數(shù)設(shè)計(jì)82
• 4.7.3 初始值及參數(shù)設(shè)置82-84
• 4.7.4 遺傳算法流程84
• 4.7.5 遺傳算法分析結(jié)果84-86
• 4.8 測(cè)試系統(tǒng)動(dòng)態(tài)建模及誤差評(píng)定86-89
• 4.8.1 測(cè)試系統(tǒng)動(dòng)態(tài)建模86
• 4.8.2 負(fù)階躍重復(fù)實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)及分析86-89
• 4.9 本章小結(jié)89-91
• 5 浸沒流場(chǎng)振動(dòng)力測(cè)試系統(tǒng)補(bǔ)償設(shè)計(jì)91-97
• 5.1 動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)補(bǔ)償器設(shè)計(jì)91-93
• 5.2 測(cè)試系統(tǒng)動(dòng)態(tài)補(bǔ)償效果分析93-94
• 5.3 基于測(cè)試補(bǔ)償?shù)慕䴖]流場(chǎng)振動(dòng)力測(cè)試94-96
• 5.3.1 測(cè)試補(bǔ)償效果評(píng)定94
• 5.3.2 基于測(cè)試補(bǔ)償?shù)臏y(cè)試實(shí)驗(yàn)94-95
• 5.3.3 基于測(cè)試補(bǔ)償?shù)臏y(cè)試結(jié)果分析95-96
• 5.4 本章小結(jié)96-97
• 6 總結(jié)與展望97-99
• 6.1 總結(jié)97-98
• 6.2 展望98-99
• 附錄一 頻譜測(cè)試原始數(shù)據(jù)99-101
• 附錄二 負(fù)階躍實(shí)驗(yàn)原始數(shù)據(jù)101-103
• 附錄三 參數(shù)優(yōu)化遺傳算法適應(yīng)度函數(shù)103-104
• 參考文獻(xiàn)104-107

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 修煥新,劉伯文,劉立彬,陳麗娟;1.6米分卷機(jī)的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償方法[J];黑龍江電子技術(shù);1997年03期

2 穆姝慧;;干涉型光纖傳感器偏振衰落動(dòng)態(tài)補(bǔ)償技術(shù)[J];量子電子學(xué)報(bào);2008年03期

3 魏建設(shè);朱興華;李金鴻;;動(dòng)態(tài)補(bǔ)償探索與研究[J];印制電路信息;2013年04期

4 吳仕宏,樸在林,張志霞;配電線路無功動(dòng)態(tài)補(bǔ)償綜合裝置的設(shè)計(jì)[J];沈陽農(nóng)業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào);2002年03期

5 陳澤恩;;一種強(qiáng)干擾下視頻監(jiān)控的多維動(dòng)態(tài)補(bǔ)償方法[J];科技通報(bào);2014年06期

6 黃俊欽,季平;動(dòng)態(tài)補(bǔ)償數(shù)字濾波器的實(shí)驗(yàn)研究方法[J];計(jì)量學(xué)報(bào);1989年01期

7 常昌遠(yuǎn);王青;楊敏;趙榮飛;;一種動(dòng)態(tài)補(bǔ)償、高穩(wěn)定性的LDO設(shè)計(jì)[J];固體電子學(xué)研究與進(jìn)展;2011年02期

8 莫建揮,吳偉敏;無功功率動(dòng)態(tài)補(bǔ)償[J];農(nóng)村電氣化;2002年06期

9 管勝利;洪光;建立;李增寶;;基于單純形法的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償濾波器[J];農(nóng)村電氣化;2012年08期

10 楊賢昭;程耕國(guó);劉惠康;;無功動(dòng)態(tài)補(bǔ)償在電弧爐供電系統(tǒng)中的應(yīng)用[J];控制工程;2011年03期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 王起飛;;一類不確定控制系統(tǒng)的前饋動(dòng)態(tài)補(bǔ)償方法[A];1997中國(guó)控制與決策學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];1997年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 王嬌;遼寧省森林動(dòng)態(tài)補(bǔ)償體系研究[D];中國(guó)林業(yè)科學(xué)研究院;2015年

2 馮絮影;發(fā)酵過程混合建模及帶動(dòng)態(tài)補(bǔ)償?shù)姆蔷�性預(yù)測(cè)控制方法研究[D];北京化工大學(xué);2010年

  本文關(guān)鍵詞：浸沒流場(chǎng)微振動(dòng)力測(cè)試及動(dòng)態(tài)補(bǔ)償研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號(hào)：382042