激光具有亮度高、方向性好、峰值功率高、光斑尺寸小等優(yōu)點(diǎn),在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著重要的作用。近年來,激光誘導(dǎo)沉積技術(shù)得到了越來越多的關(guān)注和研究,被廣泛地應(yīng)用于薄膜制備、微型器件制作、電路修復(fù)等領(lǐng)域。激光誘導(dǎo)等離子體沉積技術(shù)是激光誘導(dǎo)沉積技術(shù)的重要研究方向之一,它具有工序簡(jiǎn)單、使用靈活、容易實(shí)現(xiàn)等突出優(yōu)點(diǎn),應(yīng)用前景巨大。本文利用兩種廉價(jià)、易維護(hù)和加工效率高的激光,即波長(zhǎng)為355nm的納秒脈沖激光和波長(zhǎng)為1064nm的納秒脈沖激光,在普通硅酸鹽玻璃表面進(jìn)行銅材料的沉積實(shí)驗(yàn),較系統(tǒng)地研究了激光能量密度、掃描速度、離焦量、加工次數(shù)、光斑搭接率等工藝參數(shù)對(duì)沉積結(jié)果的影響。通過單線條激光誘導(dǎo)等離子體沉積銅實(shí)驗(yàn),確定了紫外激光和紅外激光對(duì)銅材料的沉積閾值。當(dāng)紫外激光能量密度達(dá)到約8J/cm~2,紅外激光能量密度達(dá)到約12.5J/cm~2時(shí),才會(huì)有明顯的沉積現(xiàn)象發(fā)生。此外,激光掃描速度、離焦量、加工次數(shù)等都會(huì)對(duì)沉積線條的線寬和形貌有明顯影響,而且這兩種激光作用下沉積線條的尺寸變化規(guī)律類似。在大面積銅層沉積過程中,對(duì)比研究了這兩種激光在不同激光參數(shù)下銅沉積層的微觀形貌、沉積厚度、表面粗糙度的變化情況... 

【文章頁(yè)數(shù)】：76 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 引言
    1.2 激光誘導(dǎo)沉積技術(shù)
    1.3 激光誘導(dǎo)等離子體沉積技術(shù)的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀
    1.4 研究意義、研究?jī)?nèi)容及創(chuàng)新點(diǎn)
2 實(shí)驗(yàn)材料、設(shè)備及方法
    2.1 實(shí)驗(yàn)材料及儀器
    2.2 激光加工設(shè)備
    2.3 測(cè)試表征方法
    2.4 本章小結(jié)
3 激光誘導(dǎo)等離子體沉積的影響因素及機(jī)理分析
    3.1 前言
    3.2 紫外納秒激光誘導(dǎo)等離子體沉積實(shí)驗(yàn)
    3.3 紅外納秒激光誘導(dǎo)等離子體沉積實(shí)驗(yàn)
    3.4 大面積銅層制備
    3.5 實(shí)驗(yàn)機(jī)理分析
    3.6 本章小結(jié)
4 激光誘導(dǎo)等離子體沉積結(jié)構(gòu)性能分析及應(yīng)用
    4.1 前言
    4.2 銅沉積層結(jié)構(gòu)性能分析
    4.3 玻璃表面結(jié)構(gòu)性能分析
    4.4 銅層結(jié)合強(qiáng)度分析
    4.5 銅圖案制作
    4.6 本章小結(jié)
5 全文總結(jié)與展望
    5.1 全文總結(jié)
    5.2 目前存在的問題和今后工作展望
致謝
參考文獻(xiàn)


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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[7]紫外納秒激光誘導(dǎo)前向轉(zhuǎn)移技術(shù)與應(yīng)用研究[D]. 劉明艷.天津大學(xué) 2013
[8]改性塑料表面激光誘導(dǎo)選擇性化學(xué)鍍銅[D]. 彭嘯.華僑大學(xué) 2012
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[10]模塑材料表面導(dǎo)電線路的直寫技術(shù)研究[D]. 張玉娜.華中科技大學(xué) 2012



本文編號(hào)：3701818