隨著第五代移動通信（The Fifth Generation mobile communication,5G）技術的發(fā)展,通信系統(tǒng)對濾波器的要求也越來越高,小型化、集成化、高性能以及易加工等成了目前濾波器的主流發(fā)展方向。交指型濾波器具有應用范圍廣、插損小、體積小以及第二通帶遠等優(yōu)點,可滿足毫米波波段濾波器的設計需求。文中針對5G通信的24.75-27.5GHz和4.8GHz-5GHz兩個工作頻段,設計了兩款交指型帶通濾波器,并結合微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）制造工藝,實現(xiàn)小型化。具體的工作內容如下:（1）交指型MEMS濾波器的小型化設計。針對24.25-27.5GHz頻段,設計了一款K波段的交指型MEMS濾波器。該濾波器采用雙層硅基結構,共分為五層:上金屬層、上介質層、金屬電極層、下介質層和下金屬層。傳統(tǒng)交指型濾波器的輸入輸出微帶線位于金屬電極層,為便于信號饋入饋出,下介質層需比上介質層設計得略長。文中通過改變?yōu)V波器的輸入輸出結構,將輸入輸出微帶線設置在上金屬層,并通過金屬通孔構建上介質層與金屬電極層之間的信號傳輸通道,從而縮減... 

【文章頁數(shù)】：77 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
第1章 緒論
    1.1 研究背景及意義
    1.2 國內外研究現(xiàn)狀
    1.3 本文研究內容
第2章 濾波器的理論基礎
    2.1 濾波器基本原理
        2.1.1 濾波器的主要技術參數(shù)
        2.1.2 理想低通原型濾波器的近似函數(shù)
        2.1.3 低通原型濾波器的轉換
    2.2 交指型帶通濾波器
    2.3 耦合系數(shù)和外部品質因數(shù)
        2.3.1 耦合系數(shù)
        2.3.2 品質因數(shù)
    2.4 濾波器的設計方法
    2.5 本章小結
第3章 交指型MEMS濾波器的小型化設計
    3.1 K波段交指型MEMS濾波器的設計
        3.1.1 小型化結構
        3.1.2 濾波器設計步驟
        3.1.3 不同結構對比
        3.1.4 部分關鍵參數(shù)對濾波器性能的影響
    3.2 C波段濾波器的設計
        3.2.1 SIR階躍阻抗型諧振器
        3.2.2 濾波器設計步驟
        3.2.3 不同結構對比
        3.2.4 部分關鍵參數(shù)對濾波器性能的影響
    3.3 本章小結
第4章 MEMS濾波器的制備
    4.1 主要工藝介紹
        4.1.1 鍍膜工藝
        4.1.2 光刻工藝
        4.1.3 刻蝕工藝
        4.1.4 鍵合工藝
        4.1.5 劃片工藝
        4.1.6 檢驗與測試
    4.2 版圖制作
    4.3 單項實驗
    4.4 制作流程
    4.5 性能測試及結果分析
    4.6 本章小結
第5章 總結與展望
參考文獻
致謝
攻讀碩士學位期間從事的科研工作及取得的成果


【參考文獻】：
期刊論文
[1]一種新型小型化窄帶腔體濾波器的設計[J]. 劉元昆,楊青慧,張懷武.  壓電與聲光. 2018(06)
[2]晶圓激光劃片技術簡析[J]. 高愛梅,張永昌,鄧勝強.  電子工業(yè)專用設備. 2018(05)
[3]帶抽頭的微帶交指濾波器初始設計流程[J]. 文數(shù)文,高楊,許夏茜.  強激光與粒子束. 2018(07)
[4]抽頭式微帶交指型帶通濾波器的設計[J]. 王俐聰,楊曉明,孫炘,朱捷.  制導與引信. 2017(04)
[5]C波段雙層MEMS濾波器的設計[J]. 彭艷君,賈寶富,楊曉瑜,施朝著.  微波學報. 2016(S1)
[6]一種硅基MEMS微波SIR交指帶通濾波器[J]. 翟瓊華,歐毅,薛晨陽,袁烽,李志剛,歐文.  微電子學. 2017(01)
[7]陶瓷基交指微帶帶通濾波器的設計[J]. 陳松,鐘朝位,劉稷,陶煜.  電子元件與材料. 2017(01)
[8]ICP深硅刻蝕工藝掩模的研究[J]. 李丹丹,梁庭,李賽男,姚宗,熊繼軍.  傳感器與微系統(tǒng). 2015(08)
[9]交指型微帶帶通濾波器的設計[J]. 劉海強,周立學,李良.  電子科技. 2014(07)
[10]金-金熱壓鍵合技術在MEMS中的應用[J]. 賈英茜,李莉,李倩,楊志.  河北工業(yè)大學學報. 2014(02)

碩士論文
[1]基于單晶AlN薄膜的FBAR制備研究[D]. 劉國榮.華南理工大學 2017
[2]硅基MEMS微波帶通濾波器的設計及制備[D]. 翟瓊華.中北大學 2016
[3]基于MEMS技術的濾波器設計[D]. 彭艷君.電子科技大學 2016
[4]晶圓級低溫金金擴散鍵合的研究[D]. 盧學寶.北京交通大學 2014
[5]交指型微帶帶通濾波器小型化研究[D]. 徐佳.河北工業(yè)大學 2010
[6]LTCC交指型濾波器的原理、設計與仿真[D]. 白天.華中科技大學 2008



本文編號：3686754