研究單晶硅片磨削用陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪的組織結(jié)構(gòu)對(duì)砂輪性能的影響,評(píng)估砂輪組織結(jié)構(gòu)對(duì)砂輪磨損速率、磨床主軸電流、磨削后的單晶硅片表面粗糙度及其表面形貌的影響。試驗(yàn)結(jié)果顯示:主軸電流隨著砂輪組織中孔隙率的增加呈現(xiàn)下降趨勢(shì),從最高的7.0 A降低至6.3 A;砂輪的磨損速率則表現(xiàn)出相反的規(guī)律,氣孔率最大的砂輪的磨損速率是最小的砂輪的近2倍,分別為2.525 2μm/片和1.423 8μm/片;砂輪組織結(jié)構(gòu)對(duì)磨削后工件的表面粗糙度影響不大,工件的表面粗糙度R_a值分別為7.67、7.47和7.37 nm;但當(dāng)氣孔孔徑過(guò)大、孔壁變薄時(shí),會(huì)造成磨削工件表面出現(xiàn)深劃痕,導(dǎo)致硅片磨削質(zhì)量惡化。 

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【文章目錄】：
1 試驗(yàn)
    1.1 砂輪制備
    1.2 磨削試驗(yàn)及性能表征
2 結(jié)果與分析
    2.1 砂輪組織結(jié)構(gòu)表征
    2.2 砂輪的機(jī)械性能對(duì)比
    2.3 砂輪磨削性能對(duì)比
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]燒結(jié)制度對(duì)陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪的蜂窩狀組織結(jié)構(gòu)的影響[J]. 苗衛(wèi)朋,丁玉龍,駱苗第,熊華軍.  金剛石與磨料磨具工程. 2020(01)
[2]氟化鈣對(duì)單晶硅片磨削用樹(shù)脂結(jié)合劑金剛石砂輪磨削性能的影響[J]. 丁玉龍,惠珍,熊華軍,趙延軍,包華.  金剛石與磨料磨具工程. 2019(01)
[3]數(shù)控磨削過(guò)程中砂輪電機(jī)電流的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)[J]. 焦陽(yáng),李郝林.  上海理工大學(xué)學(xué)報(bào). 2009(01)
[4]大直徑硅片超精密磨削技術(shù)的研究與應(yīng)用現(xiàn)狀[J]. 康仁科,田業(yè)冰,郭東明,金洙吉.  金剛石與磨料磨具工程. 2003(04)

博士論文
[1]納米級(jí)超精密磨削IC硅片的金剛石砂輪材料研究[D]. 李克華.上海大學(xué) 2016
[2]硅片超精密磨削減薄工藝基礎(chǔ)研究[D]. 高尚.大連理工大學(xué) 2013



本文編號(hào)：3671560