針對(duì)基于SMT技術(shù)生產(chǎn)的PCB板產(chǎn)品的三維缺陷檢測(cè)問(wèn)題,設(shè)計(jì)了一款高分辨率、高遠(yuǎn)心度及低畸變的雙光路雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)。它通過(guò)遠(yuǎn)心投影物鏡經(jīng)共光路物鏡將DMD數(shù)字條紋均勻投影至待測(cè)物面,同時(shí)經(jīng)由共光路物鏡和成像物鏡收集物面反射條紋光至CMOS接收面。使用ZEMAX光學(xué)軟件分別對(duì)三部分鏡組進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),分析了系統(tǒng)的像差和調(diào)制傳遞函數(shù)。設(shè)計(jì)結(jié)果表明:共光路物鏡部分采用長(zhǎng)工作距離、大視場(chǎng)角及物方遠(yuǎn)心結(jié)構(gòu),空間頻率50lp/mm處,各視場(chǎng)的MTF接近衍射極限;投影光路畸變小于0.1%,在投影面上全視場(chǎng)范圍MTF在6lp/mm處大于0.8且條紋周期均勻;成像光路畸變小于0.05%,在全視場(chǎng)范圍MTF在80lp/mm處大于0.3。仿真成像結(jié)果表明,在離焦量為+/-6mm時(shí)仍能達(dá)到景深范圍內(nèi)分辨率要求,能有效提高3D AOI檢測(cè)質(zhì)量。且雙光路雙遠(yuǎn)心系統(tǒng)所用材料基本為普通玻璃且重復(fù)率較高,利于加工和節(jié)省成本。 

【文章頁(yè)數(shù)】：6 頁(yè)

【文章目錄】：
0 引言
1 雙光路雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)的工作原理及結(jié)構(gòu)特征
2 雙光路雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)指標(biāo)
    2.1 視場(chǎng)計(jì)算
    2.2 放大倍率
    2.3 其他相關(guān)參數(shù)計(jì)算
3 雙光路雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)及仿真結(jié)果
    3.1 系統(tǒng)優(yōu)化過(guò)程
    3.2 系統(tǒng)的光學(xué)性能評(píng)價(jià)
    3.3 系統(tǒng)仿真結(jié)果
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號(hào)：3665150