本文提出了一種激光自混合光柵干涉儀.通過利特羅結(jié)構設計,光柵衍射光沿入射方向原路返回激光器,和腔內(nèi)光混合產(chǎn)生激光自混合干涉效應.由于光柵多普勒效應導致干涉相位隨光柵沿光柵矢量方向上的位移而改變.為了提高測量的精度,通過正弦調(diào)制半導體激光器的驅(qū)動電流,調(diào)制激光自混合干涉信號的相位,并引入了傅里葉分析的方法解調(diào)相位,最終實現(xiàn)了光柵位移的重構.激光自混合干涉的機制和利特羅結(jié)構設計保證了整個光學系統(tǒng)的緊湊性和自準直性.實驗結(jié)果表明,測量系統(tǒng)的位移噪聲水平在50 nm以內(nèi). 

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【文章目錄】：
1 原理
    1.1 激光自混合光柵干涉原理
    1.2 正弦電流調(diào)制解調(diào)原理
2 實驗結(jié)果與討論
    2.1 半導體激光器調(diào)制參數(shù)k的確定
    2.2 實驗結(jié)果
    2.3 測量結(jié)果分析
        2.3.1 測量靈敏度以及理論誤差
        2.3.2 系統(tǒng)的噪聲誤差
3 結(jié)論



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