針對體聲波（BAW）濾波器與測試儀器間接口形式不同而無法直接測試的問題,設(shè)計(jì)了一款BAW濾波器板上測試夾具。首先根據(jù)經(jīng)驗(yàn)公式初步確定夾具介質(zhì)基片厚度,并導(dǎo)入ADS中LineCacl工具,計(jì)算出夾具微帶線長度、寬度的初始值;在ADS中建立TDR瞬態(tài)仿真電路,進(jìn)行微帶線阻抗不匹配研究,給出相應(yīng)的解決方法,將初始設(shè)計(jì)的夾具結(jié)構(gòu)參數(shù)導(dǎo)入ADS進(jìn)行阻抗匹配復(fù)核;選用3款不同中心頻率的BAW濾波器作為待測器件（DUT）,分別進(jìn)行了片上探針和板上夾具測試,并將同一濾波器測試結(jié)果的散射參數(shù)矩陣參量(S₁₁、S₁₂、S₂₁、S₂₂)曲線進(jìn)行對比。對比結(jié)果表明,與片上測試相比,板上測試曲線略有偏移,但兩者趨勢一致;板上測試S₁₂-S₂₁曲線、S₁₁-S₂₂曲線吻合較好。板上測試結(jié)果可為后續(xù)去嵌入校準(zhǔn)提供比較可靠的初始值。 

【文章來源】：壓電與聲光. 2020,42(02)北大核心

【文章頁數(shù)】：7 頁

【部分圖文】：

板上測試夾具結(jié)構(gòu)示意圖

采用時域反射儀(TDR)監(jiān)測階躍信號變化可得出反射系數(shù)的變化,進(jìn)而計(jì)算傳輸線的特征阻抗。得到初始微帶線參數(shù)后,利用TDR進(jìn)行傳輸線阻抗匹配分析。在ADS軟件中,搭建微帶線的TDR電路仿真模型如圖2所示。圖中,MLIN是被測的微帶線,階躍電壓源VtStep作為階躍信號發(fā)生器,理想微帶傳輸線TLIN作為被測傳輸線的參考,網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)電壓Vin用于觀察信號變化。根據(jù)圖2模型在ADS軟件中仿真得到瞬態(tài)仿真曲線如圖3所示。在得到TDR階躍脈沖信號曲線(見圖3)過程中,小的凹陷(見圖3(a))代表電容特性;小的凸起(見圖3(b))代表電感效應(yīng)[11],因此可分析傳輸線的電容/電感特性。

根據(jù)圖2模型在ADS軟件中仿真得到瞬態(tài)仿真曲線如圖3所示。在得到TDR階躍脈沖信號曲線(見圖3)過程中,小的凹陷(見圖3(a))代表電容特性;小的凸起(見圖3(b))代表電感效應(yīng)[11],因此可分析傳輸線的電容/電感特性。圖3 微帶傳輸線瞬態(tài)仿真曲線

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]FBAR板上測試技術(shù)綜述[J]. 許夏茜,高楊,劉婷婷.  中國測試. 2019(02)
[2]體聲波濾波器的片上測試與性能表征[J]. 高楊,蔡洵,賀學(xué)鋒,劉海濤.  壓電與聲光. 2015(05)

碩士論文
[1]射頻無源表面貼裝元件的校準(zhǔn)與測量技術(shù)的研究[D]. 楊賀.電子科技大學(xué) 2014



本文編號：3550406