為解決面向掃描電子顯微鏡(SEM)的原位原子力顯微鏡(AFM)工作時SEM的聚焦電子束引起原位AFM自感應壓阻式微懸臂梁(PRC)力傳感器讀數(shù)持續(xù)漂移的難題,首先建立原位AFM自感應PRC力傳感器的p溝道結型場效應晶體管(JFET)讀數(shù)漂移模型,分析SEM聚焦電子束對自感應PRC產(chǎn)生干擾的原因;然后提出了基于原位AFM自感應PRC力傳感器p溝道JFET模型的有源漂移抑制法,即先對自感應PRC的柵極進行導電連接,再通過控制施加在自感應PRC柵極上的補償電壓消除SEM聚焦電子束對自感應PRC的干擾。實驗結果表明,當補償電壓從未施加上升至40 V時,原位AFM自感應PRC力傳感器讀數(shù)的漂移率從約13 nm/min下降到1 nm/min左右,同時對自感應PRC及其信號調(diào)理電路均無損傷。該方法能有效消除SEM聚焦電子束對原位AFM自感應PRC力傳感器的影響。

【文章來源】： 半導體技術. 2020,45(03)北大核心

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 原位AFM自感應PRC力傳感器讀數(shù)漂移模型
2 原位AFM自感應PRC力傳感器有源漂移抑制方法
3 實驗過程與結果
4 結論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]原子力顯微鏡的基本原理及其方法學研究 [J]. 朱杰,孫潤廣.  生命科學儀器. 2005(01)



本文編號：3462409