磁電聲表面波（MESAW）傳感器以其巨大的實(shí)用價(jià)值越來(lái)越受到人們的重視,在科研、生產(chǎn)、軍事等領(lǐng)域?qū)?huì)發(fā)揮越來(lái)越重要的作用。磁電聲表面波傳感器通過(guò)磁敏感薄膜（或襯底）改變SAW的諧振頻率,具有靈敏度高、體積小、易批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。本論文主要開(kāi)展了以下三方面的工作:首先,設(shè)計(jì)并制作了一種單端口諧振型的磁電聲表面波傳感器。該傳感器主要由四部分組成,分別是聲表面波諧振器、絕緣層、磁敏感層和保護(hù)層,其中磁敏感層采用具有巨楊氏模量效應(yīng)的FeCoSiB薄膜。通過(guò)優(yōu)化FeCoSiB/SiO₂薄膜的軟磁性能與厚度,成功使磁敏傳感器的靈敏度（△f/H）提升了2個(gè)數(shù)量級(jí),達(dá)到41900 Hz/Oe（419 Hz/μT）,最終制得的磁電聲表面波傳感器的諧振頻率為289.37 MHz,Q值為1205.71。其次,設(shè)計(jì)了一種具有高速、高精度、低功耗特性,適應(yīng)陣列化傳感器需求的信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)用于檢測(cè)MESAW傳感器的諧振頻率。該系統(tǒng)由五部分組成:起振電路、濾波器、分頻部分、整形器和數(shù)據(jù)處理部分。系統(tǒng)包含兩支信號(hào)通路:測(cè)量通路與參考通路,這兩支信號(hào)通路中除起振電路中的SAW傳感器外,其余各部分均相同... 

【文章來(lái)源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：82 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

武器裝備磁異常變化規(guī)律

各類(lèi)磁傳感器分辨力水平及潛力[20,21]

霍爾效應(yīng)原理圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于ScAlN/FeGa結(jié)構(gòu)的磁電聲表面波諧振器[J]. 姜建利,楊雪梅,劉婉,白飛明.  壓電與聲光. 2019(01)
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碩士論文
[1]聲表面波（SAW）傳感器信號(hào)檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)與研究[D]. 潘航.南京理工大學(xué) 2016
[2]高靈敏度磁電聲表面波磁場(chǎng)傳感器研究[D]. 黃亮.電子科技大學(xué) 2015
[3]聲表面波氣體傳感器陣列信號(hào)采集電路設(shè)計(jì)[D]. 李川.電子科技大學(xué) 2012



本文編號(hào)：3444074