雙工件臺作為光刻機運動控制系統(tǒng)關(guān)鍵機構(gòu),在光刻機的硅片對準、調(diào)平調(diào)焦和曝光刻片過程中起到了重要作用。六自由度微動臺作為雙工件臺的核心部件,是系統(tǒng)達到納米級伺服定位精度的關(guān)鍵。本文主要針對雙工件臺六自由度微動臺進行運動控制研究。首先,對雙工件臺結(jié)構(gòu)進行詳細的分析,對宏動臺模塊,微動臺模塊和換臺模塊三個子模塊進行控制系統(tǒng)設(shè)計,最后分析了工件臺微動臺系統(tǒng)的指標要求,確定典型三階S曲線為微動臺參考曲線。其次,根據(jù)微動臺的幾何尺寸進行六自由度測量解耦,將微位移傳感器的位置測量信息轉(zhuǎn)化成曝光點的六自由度位移信息;并將微動臺動力學(xué)耦合分為位置相關(guān)耦合和力相關(guān)耦合兩部分進行動力學(xué)解耦,在此基礎(chǔ)上構(gòu)建有效的微動臺六自由度動力學(xué)模,通過仿真實驗證明六自由度動力學(xué)解耦模型的有效性。再次,針對微動臺存在的干擾進行分析,并設(shè)計了基于指數(shù)趨近律的傳統(tǒng)滑�？刂扑惴▽Ω蓴_進行抑制,通過仿真分析并與PID控制進行對比,證明了滑模控制在抑制干擾方面的良好作用;針對傳統(tǒng)滑�？刂拼嬖诘拿黠@抖振問題,對原有算法進行改進,設(shè)計出基于雙冪次趨近律的快速終端滑�？刂�,很好地解決了抖振問題,同時對干擾的抑制也很好。最后,對微動臺運動控... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：85 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

NEW6000掃描工件臺結(jié)構(gòu)圖

Anorad公司精密工件臺

圖1-3雙工件臺操作流程圖

【參考文獻】：
期刊論文
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