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飛秒脈沖激光的時(shí)空變換影響納米光柵直寫(xiě)過(guò)程的研究進(jìn)展

發(fā)布時(shí)間:2021-08-29 23:47
  超短脈沖的時(shí)空特性已經(jīng)展示了對(duì)材料改性的重要影響,在過(guò)去十幾年迅速成為飛秒激光微加工領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。為此,簡(jiǎn)要從飛秒脈沖時(shí)空耦合的基本概念出發(fā),回顧了實(shí)驗(yàn)中觀察到的時(shí)空耦合效應(yīng)及基于時(shí)空耦合的時(shí)空聚焦技術(shù),介紹了時(shí)空聚焦技術(shù)在加工領(lǐng)域的應(yīng)用,重點(diǎn)討論了時(shí)空耦合對(duì)透明材料內(nèi)部的非互逆性直寫(xiě)及不對(duì)稱(chēng)納米光柵結(jié)構(gòu)的影響。 

【文章來(lái)源】:激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2020,57(11)北大核心CSCD

【文章頁(yè)數(shù)】:12 頁(yè)

【部分圖文】:

飛秒脈沖激光的時(shí)空變換影響納米光柵直寫(xiě)過(guò)程的研究進(jìn)展


引入角色散和空間啁啾。(a)棱鏡;(b)光柵

飛秒脈沖激光的時(shí)空變換影響納米光柵直寫(xiě)過(guò)程的研究進(jìn)展


圖2 時(shí)間啁啾

原理圖,時(shí)空,激光,技術(shù)


在飛秒激光微加工領(lǐng)域,需要特別注意控制脈沖的相位,這可能受到色散介質(zhì)或自相位調(diào)制的干擾,并導(dǎo)致脈沖強(qiáng)度的顯著降低,通常被視為負(fù)面影響。然而,一種稱(chēng)為啁啾脈沖放大的方法清楚地表明,可以利用對(duì)光譜成分的操縱,通過(guò)在增益介質(zhì)之前臨時(shí)拉伸一個(gè)脈沖,減輕增益介質(zhì)因瞬時(shí)高功率而受損的問(wèn)題。然后將放大的脈沖以與其拉伸相同的方式再壓縮回原始脈沖寬度,使激光從太瓦提升到拍瓦強(qiáng)度[51]。人們發(fā)現(xiàn),通過(guò)調(diào)節(jié)時(shí)空耦合特性后的激光脈沖,可以實(shí)現(xiàn)在達(dá)到焦點(diǎn)附近的臨界功率時(shí)克服非線性副作用,減小能量在傳播過(guò)程中的損失。空間和時(shí)間共聚焦的技術(shù)最初是為了多光子顯微鏡成像而提出[29,30]。該技術(shù)的原理是在聚焦激光脈沖之前,入射激光的頻譜分量在空間中分離,形成準(zhǔn)直的空間啁啾光束(圖4),并增加了脈寬。在聚焦時(shí),隨著空間分量開(kāi)始重疊,整個(gè)帶寬被逐漸恢復(fù),壓縮回初始脈寬,因此脈沖可實(shí)現(xiàn)的最大強(qiáng)度僅在焦點(diǎn)處得到滿(mǎn)足,將所有激光與材料的非線性相互作用限制在焦點(diǎn)體積上。近年來(lái),SSTF技術(shù)不僅在材料修飾[31,52],還在顯微術(shù)、組織消融[53-54]和大氣傳播[55]等方面顯示出在達(dá)到聚焦附近臨界功率時(shí)克服非線性副作用的影響。此外時(shí)空共聚焦后的脈沖在焦點(diǎn)有很強(qiáng)的PFT,可達(dá)到104 fs/mm[33],其在傳統(tǒng)的飛秒激光系統(tǒng)中是十分罕見(jiàn)的。3 飛秒激光時(shí)空聚焦技術(shù)在微加工中應(yīng)用

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
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[8]單光束飛秒激光誘導(dǎo)石英玻璃內(nèi)部納米光柵的研究進(jìn)展[J]. 戴曄,邱建榮.  激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2013(12)



本文編號(hào):3371615

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