p型金屬氧化物材料氧化亞錫由于其特有的光學(xué)和電學(xué)性能,使得其在催化、傳感、光電器件等領(lǐng)域受到越來越多人的青睞。本文重點介紹了氧化亞錫在薄膜晶體管中的研究應(yīng)用,薄膜晶體管作為顯示器驅(qū)動面板核心部件,其在顯示器中的作用至關(guān)重要。本文歸納了氧化亞錫薄膜晶體管的研究進(jìn)展,對氧化亞錫微觀性能分析、氧化亞錫薄膜材料制備以及晶體管制備方法等進(jìn)行介紹。通過對氧化亞錫晶體結(jié)構(gòu)以及電子結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)介紹,探討了氧化亞錫性能微觀調(diào)控機(jī)制;并通過對氧化亞錫材料的制備以及器件的應(yīng)用研究,分析了氧化亞錫薄膜晶體管所面臨的器件電流開關(guān)比低的問題并展望其在互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體器件方向的前景,以期為制備穩(wěn)定和環(huán)保的p型金屬氧化物薄膜晶體管提供參考。 

【文章來源】：材料工程. 2020,48(04)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【部分圖文】：

SnO晶體結(jié)構(gòu)


本文編號：3344550