隨著人類需求的增加和新興工藝的出現(xiàn),半導(dǎo)體制造業(yè)的混合生產(chǎn)特性愈加明顯,即一臺(tái)設(shè)備用來(lái)加工多種產(chǎn)品。指數(shù)加權(quán)移動(dòng)平均（Exponentially Weighted Moving Average,EWMA）控制器是半導(dǎo)體制造業(yè)中應(yīng)用最廣泛的一種批間控制器。但是,傳統(tǒng)的EWMA控制器多數(shù)是為單一產(chǎn)品制程設(shè)計(jì)的,并不適用于混合半導(dǎo)體制程。針對(duì)該問題,本課題提出了混合半導(dǎo)體制程的優(yōu)化批間控制方法研究。首先,本課題建立了一種更加準(zhǔn)確的混合半導(dǎo)體制程的數(shù)學(xué)模型,在此基礎(chǔ)上深入分析了混合半導(dǎo)體制程的兩種主要控制器（基于機(jī)臺(tái)的EWMA控制器和基于產(chǎn)品的EWMA控制器）的性能。新的分析結(jié)果對(duì)前人的研究成果進(jìn)行了補(bǔ)充與擴(kuò)展。仿真實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了所得結(jié)論的正確性�；谏鲜鲅芯砍晒�,本課題為混合半導(dǎo)體制程設(shè)計(jì)了一種新型EWMA控制器,能夠同時(shí)克服基于機(jī)臺(tái)與基于產(chǎn)品的EWMA控制器的缺點(diǎn)。在該控制器中,若某個(gè)批次的產(chǎn)品種類與上一批次的相同,則該批次的擾動(dòng)估計(jì)值由EWMA估計(jì)器根據(jù)上一批次的數(shù)據(jù)得到;否則,該批次的擾動(dòng)估計(jì)值由同種產(chǎn)品在之前最近批次的擾動(dòng)估計(jì)值加上兩個(gè)批次間其它產(chǎn)品生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的漂移值得到。同時(shí),本課... 

【文章來(lái)源】：蘇州大學(xué)江蘇省 211工程院校

【文章頁(yè)數(shù)】：95 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
中文摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 課題背景及意義
    1.2 課題國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀分析
        1.2.1 狀態(tài)估計(jì)器的研究現(xiàn)狀
        1.2.2 整體狀態(tài)估計(jì)算法的研究現(xiàn)狀
    1.3 課題研究目標(biāo)及內(nèi)容
    1.4 本文結(jié)構(gòu)安排
第二章 EWMA控制器
    2.1 EWMA算法
    2.2 半導(dǎo)體制程中的EWMA控制器
    2.3 性能分析
    2.4 仿真實(shí)驗(yàn)
    2.5 本章小結(jié)
第三章 混合半導(dǎo)體制程EWMA控制器研究
    3.1 混合半導(dǎo)體制程簡(jiǎn)介
    3.2 混合半導(dǎo)體制程模型
    3.3 基于機(jī)臺(tái)的EWMA控制器研究
        3.3.1 算法介紹
        3.3.2 性能分析
        3.3.3 仿真實(shí)驗(yàn)
    3.4 基于產(chǎn)品的EWMA控制器研究
        3.4.1 算法介紹
        3.4.2 性能分析
        3.4.3 仿真實(shí)驗(yàn)
    3.5 本章小結(jié)
第四章 新型EWMA控制器的設(shè)計(jì)
    4.1 整體方案的設(shè)計(jì)
    4.2 漂移項(xiàng)的估計(jì)算法
    4.3 性能分析
    4.4 仿真實(shí)驗(yàn)
    4.5 本章小結(jié)
第五章 性能評(píng)價(jià)器的研究與設(shè)計(jì)
    5.1 控制器性能評(píng)價(jià)流程
    5.2 性能評(píng)價(jià)基準(zhǔn)的選擇與確定
        5.2.1 最小方差基準(zhǔn)
        5.2.2 方差基準(zhǔn)
        5.2.3 均方誤差基準(zhǔn)
    5.3 EWMA控制器基于均方誤差的性能評(píng)價(jià)算法
    5.4 模型參數(shù)辨識(shí)和估計(jì)方法
    5.5 仿真實(shí)驗(yàn)
    5.6 本章小結(jié)
第六章 總結(jié)與展望
    6.1 總結(jié)
    6.2 展望
參考文獻(xiàn)
攻讀學(xué)位期間本人出版或公開發(fā)表的論著、論文
致謝
附錄A：基于機(jī)臺(tái)的EWMA控制系統(tǒng)的輸出表達(dá)式推導(dǎo)過程
附錄B：基于產(chǎn)品的EWMA控制系統(tǒng)的輸出表達(dá)式推導(dǎo)過程
附錄C：新型EWMA控制系統(tǒng)的輸出表達(dá)式推導(dǎo)過程


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
[1]多品種小批量生產(chǎn)方式下基于約束理論的生產(chǎn)計(jì)劃與控制研究[D]. 游海波.合肥工業(yè)大學(xué) 2009
[2]基于變權(quán)值EWMA的混和產(chǎn)品批間控制方法研究[D]. 侯明陽(yáng).華中科技大學(xué) 2008
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本文編號(hào)：3307262