發(fā)布時(shí)間：2021-07-18 18:55

　　激光外差干涉測(cè)量技術(shù)是微振動(dòng)探測(cè)的重要手段,隨著微納應(yīng)用的拓展,人們對(duì)精密測(cè)量系統(tǒng)的相位檢測(cè)靈敏度提出了更高的要求.傳統(tǒng)提高測(cè)量靈敏度的方法有優(yōu)化外差干涉系統(tǒng)方案、改進(jìn)相位重建算法和降低關(guān)鍵器件噪聲等.本文提出了一種多光束混合干涉的相位增強(qiáng)方法,經(jīng)過(guò)理論推導(dǎo)和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證得到如下近似條件:校正光與信號(hào)光的初相位相差πrad情況下,兩光束的功率越接近,系統(tǒng)對(duì)目標(biāo)的弱振動(dòng)振幅響應(yīng)越大.實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)的兩光束功率相差1%時(shí),觀察到了最大146倍的增強(qiáng)效果,該方法在微振動(dòng)物體高靈敏度測(cè)量上具有較大的應(yīng)用價(jià)值,在現(xiàn)有器件指標(biāo)和相位解調(diào)算法不變的基礎(chǔ)上可大幅提高外差干涉測(cè)量系統(tǒng)的探測(cè)能力. 

【文章來(lái)源】：物理學(xué)報(bào). 2020,69(19)北大核心EISCICSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：8 頁(yè)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3290166