本文以國(guó)內(nèi)某大型半導(dǎo)體封裝測(cè)試企業(yè)的計(jì)算機(jī)集成制造項(xiàng)目為背景,針對(duì)企業(yè)提高智能化信息化水平的需求,設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)一種基于SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封測(cè)設(shè)備RMS系統(tǒng)。首先,在完成需求調(diào)研的基礎(chǔ)上,整合企業(yè)現(xiàn)有資源對(duì)RMS系統(tǒng)進(jìn)行了總體架構(gòu)設(shè)計(jì),詳細(xì)規(guī)劃了各大功能模塊,并且對(duì)系統(tǒng)技術(shù)架構(gòu)、邏輯架構(gòu)、部署架構(gòu)進(jìn)行了具體設(shè)計(jì)。其次,通過解析SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)了SECS/GEM通信模塊。深入研究SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)框架的通信原理及各層協(xié)議內(nèi)容,通過軟件編程實(shí)現(xiàn)模塊各項(xiàng)功能,最終實(shí)現(xiàn)主機(jī)和設(shè)備間的通信、消息交換和控制管理。隨后,在SECS/GEM通信模塊的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)Recipe管理模塊。通過分析Recipe程序結(jié)構(gòu),根據(jù)企業(yè)實(shí)際需求設(shè)計(jì)出合理高效的Recipe管理流程,完成了Recipe管理模塊的業(yè)務(wù)功能。接著,建立和改善設(shè)備OEE模型。根據(jù)SECS/GEM通信協(xié)議完成半導(dǎo)體設(shè)備數(shù)據(jù)采集功能,進(jìn)行OEE計(jì)算和報(bào)表展示。通過研究TOC基本理論和其實(shí)踐方案,建立基于DBR方法的OEE改善模型。結(jié)合TOPSIS方法和熵權(quán)法識(shí)別出瓶頸設(shè)備,基于馬爾可夫過程模擬設(shè)備狀態(tài)轉(zhuǎn)移,計(jì)算出... 

【文章來源】：東南大學(xué)江蘇省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：84 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

Recipe錯(cuò)誤實(shí)際生產(chǎn)中，在Recipe指令的下發(fā)處理過程中常常會(huì)發(fā)生各種各樣的錯(cuò)誤，進(jìn)而導(dǎo)

如圖 2-1 所示。設(shè)備無法完成生產(chǎn)批次，造成產(chǎn)品良率下降損壞，由此產(chǎn)生的后果和帶來的損失將是無法估量的。，在 Recipe 下發(fā)過程中需要有一套準(zhǔn)確高效的系統(tǒng)，找到可能發(fā)生問理糾正，防患于未然；同時(shí)，如果 Recipe 發(fā)生錯(cuò)誤能夠及時(shí)找到問題將錯(cuò)誤信息進(jìn)行反映上報(bào)，以便于問題的排查和生產(chǎn)的改善。 的誕生就是為了管理實(shí)際生產(chǎn)中的各種 Recipe 問題，它可以預(yù)防工情況下私自改動(dòng) Recipe，可以追蹤整個(gè) Recipe 處理流程，包括 Recip用，可以在出現(xiàn)問題時(shí)及時(shí)報(bào)警鎖定設(shè)備并通知相關(guān)工程師，可以保

體架構(gòu)總體架構(gòu)考慮，將本系統(tǒng)劃分為客戶端子系統(tǒng)（含底層 SECS/GEM 通訊步（MQ）、服務(wù)端子系統(tǒng)三個(gè)部分，如圖 2-3 所示。其中機(jī)臺(tái)系統(tǒng)、MES統(tǒng)）和 YMS（良率管理系統(tǒng)）屬于企業(yè)現(xiàn)有系統(tǒng)資源，需建立接口以滿要求。SPC（統(tǒng)計(jì)過程控制）系統(tǒng)在本系統(tǒng)中只考慮對(duì)應(yīng)的接口預(yù)留，以

【參考文獻(xiàn)】：
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碩士論文
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