隨著微電子制造封裝裝備性能的不斷提高,其關(guān)鍵運(yùn)動(dòng)部件——運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的高速高加速度運(yùn)動(dòng)特性與精密定位性能已成為影響裝備整機(jī)性能的關(guān)鍵因素之一。高速度高加速度與高精度快速定位間的矛盾問題,是當(dāng)前精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)研發(fā)中的關(guān)鍵難題,對(duì)其進(jìn)行深入研究并探索有效解決方案,對(duì)我國(guó)先進(jìn)封裝裝備的自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化發(fā)展前景具有重要意義。晶圓級(jí)倒裝裝備中運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的核心就是各個(gè)伺服直驅(qū)軸,在對(duì)晶圓級(jí)倒裝裝備中的伺服直驅(qū)軸進(jìn)行調(diào)試時(shí),發(fā)現(xiàn)如下兩個(gè)難題:第一,由于伺服系統(tǒng)的剛性不夠,如果對(duì)伺服直驅(qū)軸的快速響應(yīng)性能要求過高會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)產(chǎn)生共振,嚴(yán)重時(shí)甚至?xí)茐臋C(jī)械結(jié)構(gòu);第二,由于軟件延時(shí)和硬件延時(shí)的存在,電機(jī)在運(yùn)動(dòng)過程中也會(huì)存在一定程度的滯后,嚴(yán)重影響運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的快速響應(yīng)。由于以上兩個(gè)問題的存在,伺服直驅(qū)軸的高加速度高速度與精密定位難以得到保障,進(jìn)而降低了整機(jī)的工作效率。本文主要研究了伺服直驅(qū)軸在高速高加速運(yùn)動(dòng)的條件下如何實(shí)現(xiàn)快速精準(zhǔn)定位,同時(shí)開展了對(duì)振動(dòng)抑制方法和快速定位方法的研究,設(shè)計(jì)了一個(gè)控制器,提出通過在伺服控制器中加入陷波濾波器和前饋控制器來抑制系統(tǒng)的機(jī)械振動(dòng)和提升系統(tǒng)的快速響應(yīng)性能的方法。通過軟件仿真和實(shí)驗(yàn)研究,... 

【文章來源】：廣東工業(yè)大學(xué)廣東省

【文章頁(yè)數(shù)】：87 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

所示的三相平面坐標(biāo)系abc與兩

表 2-1 晶圓級(jí)倒裝裝備中焊接的 X 方向直線電機(jī)參數(shù)表Table 2-1 BHX motor parameter list下，假設(shè)電機(jī)氣隙均勻，忽略磁路飽和、磁滯、渦流略端部效應(yīng)。通過建立如圖 2-3 所示的三相平面坐系 - 以及轉(zhuǎn)子坐標(biāo)系 d q，可以推導(dǎo)出直線電機(jī)方程以及機(jī)械運(yùn)動(dòng)方程，并依此得出直線電機(jī)的數(shù)學(xué)

圖 2-7 BHX 軸 10Hz 時(shí)的輸入輸出響應(yīng)曲線Fig. 2-7 Input and output response curve of BHX axis at 10Hz圖 2-8 BHX 軸 30Hz 時(shí)的輸入輸出相應(yīng)曲線

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
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[4]面向高端制造裝備的高速精密定位平臺(tái)控制技術(shù)研究[D]. 陸愛明.合肥工業(yè)大學(xué) 2013
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本文編號(hào)：3211675