發(fā)布時間：2021-04-02 19:57

　　光刻機研發(fā)周期長且結(jié)構(gòu)復雜,鑒于目前國內(nèi)外缺乏系統(tǒng)、有效的光刻機可靠性工作水平的評價方法,通過對光刻機的開發(fā)流程與可靠性工作項目相結(jié)合的研究,提出了一種適用于復雜系統(tǒng)光刻機的可靠性指數(shù)模型及相應的評價體系,主要包含可靠性設計、物料優(yōu)選、可靠性試驗、故障歸零及現(xiàn)場可靠性數(shù)據(jù)等參數(shù)進行可靠性工作水平評價。通過實例表明,該指數(shù)可客觀地用于光刻機可靠性工作評價,并有效指導企業(yè)進行可靠性的持續(xù)改進,從而提升光刻機可靠性系統(tǒng)管理的效率與科學化。 

【文章來源】：制造技術(shù)與機床. 2020,(09)北大核心

【文章頁數(shù)】：4 頁

【文章目錄】：
1 可靠性指數(shù)模型
    1.1 可靠性指數(shù)內(nèi)涵
    1.2 可靠性指數(shù)模型
    1.3 可靠性指數(shù)量化及數(shù)據(jù)
2 案例應用分析
3 結(jié)語


【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3115867