第五代移動(dòng)通信（5G）技術(shù)對(duì)小體積、高頻、寬帶和高性能的空腔型體聲波諧振濾波器（FBAR filter）提出了迫切需求。該技術(shù)融合了聲學(xué)、射頻和MEMS工藝。目前存在著無(wú)專(zhuān)用的設(shè)計(jì)平臺(tái),對(duì)薄膜材料要求高、工藝復(fù)雜等研究困難。同時(shí),FBAR濾波器是一類(lèi)典型的窄帶器件,如何增加其工作帶寬,滿足寬帶信號(hào)處理要求,也是近年來(lái)的研究熱點(diǎn)。本文通過(guò)建立有限元（FEM）模型、等效電路模型和全波仿真模型,系統(tǒng)地闡述材料和結(jié)構(gòu)對(duì)體聲波諧振器性能的影響規(guī)律,以及壓電材料、封裝、寄生振動(dòng)和電路結(jié)構(gòu)對(duì)體聲波濾波器性能的影響,建立全套高精度仿真平臺(tái),并為寬帶FBAR的實(shí)現(xiàn)提供理論指導(dǎo)。通過(guò)對(duì)空腔結(jié)構(gòu)、壓電和電極薄膜制備、頻率修調(diào)等關(guān)鍵工藝的微觀（如結(jié)構(gòu)、形貌等）和宏觀（如應(yīng)力、均勻性等）特性研究,獲得滿足FBAR優(yōu)異壓電性、高結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性及低能量耗散等要求的材料及工藝基礎(chǔ)。最后,研制、測(cè)試和分析了常規(guī)、高Q、高有效機(jī)電耦合系數(shù)(kt²_eff)結(jié)構(gòu)體聲波諧振器和高頻、高Q、寬帶體聲波濾波器。本文從模擬仿真、材料制備、器件工藝和測(cè)試等方面進(jìn)行研究,取得系列成果和創(chuàng)新。1.空... 

【文章來(lái)源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：141 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：博士

【部分圖文】：

超外差結(jié)構(gòu)射頻前端示意圖

圖 1-2 三頻段零中頻射頻前端示意圖[3]圖 1-3 目前手機(jī)射頻前端示意圖[3]SAW 濾波器是一種基于聲表面波理論，利用叉指換能器實(shí)現(xiàn)頻率選擇的器件工作頻率是由聲表面波的聲速和叉指換能器周期共同決定[12]。由于壓電單晶聲速較低，在目前的金屬指條加工精度下，量產(chǎn) SAW 濾波器最高頻率小

2圖 1-3 目前手機(jī)射頻前端示意圖[3]SAW 濾波器是一種基于聲表面波理論，利用叉指換能器實(shí)現(xiàn)頻率選擇的器件工作頻率是由聲表面波的聲速和叉指換能器周期共同決定[12]。由于壓電單晶聲速較低，在目前的金屬指條加工精度下，量產(chǎn) SAW 濾波器最高頻率小

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
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[2]基于FBAR的微質(zhì)量傳感器的設(shè)計(jì)及應(yīng)用技術(shù)研究[D]. 徐航.上海交通大學(xué) 2013
[3]FBAR溫度傳感器研究[D]. 劉世潔.浙江大學(xué) 2012
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[5]溫度補(bǔ)償?shù)膲弘姳∧んw聲波濾波器[D]. 胡念楚.天津大學(xué) 2011
[6]AIN薄膜中頻濺射制備及體聲波諧振器研制[D]. 汪振中.電子科技大學(xué) 2011
[7]可調(diào)諧體聲波諧振器用BST薄膜材料研究[D]. 譚樂(lè)凡.電子科技大學(xué) 2010



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