為了提高有源矩陣有機發(fā)光二極管面板(AMOLED)亮點不良修復成功率,優(yōu)化設備性能,本文研究一種AMOLED亮點修復方法,實現(xiàn)陰極隔離原理。由裝置激光調形機構(Slit)的激光修復設備構造一束固定形狀和頻率的脈沖激光束。該激光束透過AMOLED面板封裝層,照射目標亞像素上方陰極膜層,使目標亞像素發(fā)光層與面板整體陰極隔斷,陰極電子無法遷移至目標亞像素發(fā)光層,目標亞像素由亮點變?yōu)榘迭c,達到亮點修復目的。提出并比較了矩形修復法與線修復法,結果表明:矩形修復方法成功率為33.5%,容易出現(xiàn)封裝層損傷,信賴性風險高;線修復方法成功率為100%,無封裝層損傷風險,信賴性風險低。將線修復方法導入量產后,亮點不良修復良率由96.9%提升至100%。 

【文章來源】：液晶與顯示. 2020年03期 北大核心

【文章頁數(shù)】：7 頁

【部分圖文】：

線修復法修復后亞像素

封裝層一般使用材料為SiONx，對修復常用波長（例如532nm）的激光吸收率低。陰極的主要成分為Ag和Mg，其膜層厚度比例一般為Ag∶Mg=8∶2，熔點分別為Ag(961.78℃）Mg(648℃）。陽極主要成分為Ag和ITO[9-10]。有機發(fā)光材料從陽極往上一般包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層、發(fā)光層、空穴阻擋層、電子傳輸層、電子注入層，該部分材料Tm（熔限終止溫度）在250～360℃之間，Td（受熱分解溫度）在300～520℃之間[11]。2.2 陰陽極短路原理

陰陽極短路原理主要使用裝置激光調形機構的激光設備實現(xiàn)。激光調形機構是使用兩個伺服電機精確控制4片金屬薄片構造一個狹縫，移動金屬薄片可改變透過該機構的激光束形狀和大小[12]。AMOLED產品亮點修復使用激光調形機構的精度為0.1μm，再現(xiàn)性偏差需小于0.1μm。圖2為一種激光調形機構的實物圖。實現(xiàn)陰陽極短路原理的加工方法稱為點修復法。該方法使用激光調形機構構造一束點狀脈沖激光束，照射加工區(qū)域。加工位置溫度高于Ag熔點，即高于961.78℃。

【參考文獻】：
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博士論文
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碩士論文
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本文編號：2938851