為保證半導(dǎo)體激光打標(biāo)機(jī)F-θ鏡頭的掃描質(zhì)量,實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)像高與掃描角的線性變化,需對F-θ鏡頭給予一定的畸變量,并使其滿足等暈條件。分析F-θ鏡頭工作原理及像差要求,根據(jù)1 064 nm半導(dǎo)體激光打標(biāo)機(jī)的光源成像要求選擇合適的玻璃材料,合理分配每片透鏡的光焦度,以保證等暈成像;根據(jù)F-θ鏡頭線性成像要求,計算系統(tǒng)總畸變量為1.6%,系統(tǒng)總畸變量為系統(tǒng)的實(shí)際桶形畸變與相對畸變量之和;在光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計時,引入這兩項(xiàng)優(yōu)化參數(shù),優(yōu)化過程中觀察系統(tǒng)成像變化情況。設(shè)計結(jié)果表明:系統(tǒng)MTF曲線接近衍射極限,F-θ鏡頭相對畸變小于0.36%,各視場均方根半徑均小于艾里斑直徑,并且整個系統(tǒng)70%的能量集中在直徑為16μm的圓內(nèi),系統(tǒng)總畸變量為1.58%,滿足設(shè)計指標(biāo)要求。 

【文章來源】：應(yīng)用光學(xué). 2020年01期 北大核心

【文章頁數(shù)】：7 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]大幅面CO2激光打標(biāo)機(jī)f-θ透鏡的設(shè)計[J]. 李勇,程瀟瀟.  輕工科技. 2018(12)
[2]激光技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)當(dāng)中的應(yīng)用[J]. 韓仲夏.  無線互聯(lián)科技. 2018(08)
[3]多波長廣角f-theta透鏡光學(xué)設(shè)計[J]. 周燕,沈濤.  應(yīng)用光學(xué). 2017(04)
[4]CO2激光打標(biāo)機(jī)f-theta透鏡的光學(xué)設(shè)計[J]. 趙鑫.  時代農(nóng)機(jī). 2016(04)
[5]基于ZEMAX的f-θ透鏡的光學(xué)設(shè)計[J]. 劉喆,劉海歐.  光電技術(shù)應(yīng)用. 2016(02)
[6]YAG激光打標(biāo)機(jī)f-theta透鏡的光學(xué)設(shè)計[J]. 趙鑫.  無線互聯(lián)科技. 2016(07)
[7]廣角大相對孔徑f-θ透鏡光學(xué)設(shè)計[J]. 蘇陽,安志勇,李琦,徐淼.  應(yīng)用光學(xué). 2015(03)
[8]SrTiO3光催化材料的研究進(jìn)展[J]. 賈德偉,盧艷麗,胡婷婷.  材料導(dǎo)報. 2014(05)
[9]高軌道準(zhǔn)直式紅外地球模擬器光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計[J]. 王航,張國玉,王遠(yuǎn),耿振華.  光學(xué)儀器. 2014(01)
[10]超廣角大工作面f-theta鏡頭的光學(xué)設(shè)計[J]. 付敏敏,陳培鋒,王英,蔣紅陽.  應(yīng)用光學(xué). 2011(06)



本文編號：2924204