隨著電子產(chǎn)品在生活中的普及,電子產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,那么半導(dǎo)體的制作就尤為重要,晶圓清洗技術(shù)是半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中不可缺少的一部分,決定著企業(yè)利潤(rùn)的高低。在生產(chǎn)制造集成電路和半導(dǎo)體產(chǎn)品過(guò)程中,幾乎每道工序都涉及到清洗,晶圓的清洗質(zhì)量直接關(guān)系到半導(dǎo)體和集成電路的成品率。就目前晶圓的清洗技術(shù)而言,濕法清洗是最常用的的清洗技術(shù)。濕法清洗技術(shù)的關(guān)鍵在于對(duì)清洗機(jī)化學(xué)品流量和濃度的控制。通過(guò)對(duì)清洗機(jī)過(guò)濾器流量的控制可以有效的提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率,避免過(guò)早更換過(guò)濾器化學(xué)品槽造成成本的浪費(fèi)和避免過(guò)度使用化學(xué)品槽造成廢品。論文研究了粒子群算法優(yōu)化改進(jìn)RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(PSOIRBF)的方法對(duì)過(guò)濾器流量進(jìn)行了預(yù)測(cè)。論文的主要研究工作如下:(1)介紹了對(duì)晶圓清洗機(jī)過(guò)濾器流量預(yù)測(cè)應(yīng)用的背景和應(yīng)用價(jià)值,以及目前在國(guó)內(nèi)外主要的幾種晶圓清洗技術(shù),并簡(jiǎn)單介紹了晶圓清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和工作原理。(2)簡(jiǎn)單地分析了各類典型神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)預(yù)測(cè)模型的結(jié)構(gòu)、優(yōu)缺點(diǎn)以及前人們的應(yīng)用成果。(3)介紹了RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的理論知識(shí),分析其優(yōu)缺點(diǎn),并為了解決RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)容易陷入局部最優(yōu),精度不高等問(wèn)題對(duì)RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型進(jìn)行了改進(jìn)。(4)提出了粒子群優(yōu)化的RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法,并用一個(gè)非線性模型對(duì)該算法進(jìn)行了驗(yàn)證,分析了該算法的缺點(diǎn)。(5)針對(duì)粒子群優(yōu)化的RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)存在的缺點(diǎn),提出了粒子群優(yōu)化改進(jìn)RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法(PSOIRBF),用非線性模型進(jìn)行了驗(yàn)證,討論了不同神經(jīng)元個(gè)數(shù)時(shí)的預(yù)測(cè)結(jié)果,并和遺傳算法和未改進(jìn)算法進(jìn)行了比較分析,驗(yàn)證了該算法的有效性。最后將該模型應(yīng)用到晶圓清洗機(jī)過(guò)濾器的流量預(yù)測(cè)中,進(jìn)行仿真實(shí)驗(yàn)。證明了該算法在晶圓清洗機(jī)過(guò)濾器流量預(yù)測(cè)中的有效性。
【學(xué)位單位】：新疆大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位年份】：2019
【中圖分類】：TN305;TP18
【部分圖文】：

晶圓清洗機(jī)外觀圖

圖 1-2 線性神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)圖知神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)[17]是對(duì)人腦感知特征的抽象模擬，結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單，最由一個(gè)神經(jīng)元組成，線性閾值單元為網(wǎng)絡(luò)傳遞函數(shù)。只能解決題，不能應(yīng)用在線性不可分和非線性問(wèn)題上，感知器網(wǎng)絡(luò)的學(xué)`w (t a)p ep `b (t a)(1) ew( n 1) w(n) `wb ( n 1) b(n) `b輸入向量，e為學(xué)習(xí)誤差，t為目標(biāo)向量， `w 為權(quán)值增量 `b 為

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