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面向低成品率光刻機調(diào)度問題的反向-災(zāi)變共生生物搜索算法

發(fā)布時間:2020-05-15 12:07
【摘要】:針對傳統(tǒng)進化算法在低成品率步進式光刻機的有效調(diào)度問題上因參數(shù)多或局部搜索能力不足導(dǎo)致求解質(zhì)量欠佳的情況,以最小化最大完工時間為優(yōu)化目標,提出了1種反向-災(zāi)變共生生物搜索算法。在共生生物搜索算法的種群初始化及寄生階段使用反向?qū)W習(xí)增加種群多樣性,從而擴展搜索廣度;在算法陷入局部最優(yōu)時進行災(zāi)變判斷,根據(jù)判斷結(jié)果跳出局部最優(yōu),在下1次迭代的互利共生與偏利共生階段引入變鄰域下降法增加搜索深度。對不同成品率情況進行多種算法的仿真實驗,對比結(jié)果表明,所提算法具有更好的求解質(zhì)量。

【相似文獻】

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