基于SiGe BiCMOS工藝的微波多功能芯片關鍵技術研究
發(fā)布時間:2020-04-25 12:17
【摘要】:相控陣技術已廣泛應用于人造衛(wèi)星、機載雷達和彈道導彈等軍事領域。幅相多功能芯片是相控陣前端的核心部件。芯片對于系統(tǒng)的波束掃描精度、發(fā)射功率、接收靈敏度等指標起到了決定性的作用。傳統(tǒng)的多功能芯片采用GaAs工藝實現,但砷化鎵材料無法與硅基工藝的數控、模擬電路兼容,且加工費用高昂,難以滿足現代化應用中低成本的需求。由于有源相控陣前端每個孔徑都由上千甚至上萬個元件組成,因此低成本、高集成度的硅基工藝將成為滿足相控陣系統(tǒng)小型化、一體化、低功耗、高可靠性的首選技術,也是目前國內外的發(fā)展趨勢。本研究基于GF 0.13μm SiGe BiCMOS工藝,為解決多功能芯片在毫米波頻段多通道集成的難題,針對片內各子模塊的關鍵技術展開研究,設計了一款應用于相控陣系統(tǒng)的Ka波段四通道多功能芯片,主要工作內容如下:1.針對整個系統(tǒng)鏈路在32~40GHz全頻段內增益陡降的問題,在片內采用增益均衡技術對增益補償放大器進行頻率補償。同時,基于電路模型進行理論分析,采用提升增益的“Gain-Boosting”技術與Cascode結構相結合,使放大器在毫米波頻段仍能保持較高增益。該增益補償放大器在頻帶內增益為9.5~11.5dB,可提供約2dB的正斜率增益曲線,其頻率補償作用使得整個系統(tǒng)具有良好的增益平坦度,仿真結果顯示:單通道發(fā)射增益為17.7~19.6dB,接收增益為18.8~21.5dB。2.為了兼顧最大增益和最小噪聲系數,采用感性源極退化技術設計了鏈路中的低噪放。對影響片上低噪聲放大器噪聲系數的關鍵因素進行了分析,在版圖中采用自定制高Q值電感,進一步優(yōu)化噪聲系數。仿真結果顯示,在32~40GHz內噪聲系數小于3.3dB,增益大于9.8dB。3.針對傳統(tǒng)移相單元(高低通結構)插損高、不利于小型化的問題,基于等效電路模型對T型和Pi型移相結構進行了理論分析,根據不同移相結構的特點,合理使用T型、Pi型和高低通結構的組合,解決了無源移相器在毫米波頻段移相精度低、插損高、面積大的難題,設計了具有低移相RMS誤差的高精度七位數控移相器。七位移相器在Ka波段的插損小于18dB,移相均方根(RMS)誤差小于3°。4.針對四通道芯片數;旌想娐放c射頻電路集成的難題,對整個芯片鏈路進行了系統(tǒng)性的考慮與分析,包括指標分解、芯片布局、供電方案與隔離措施。完成了基于SiGe工藝的Ka波段四通道多功能芯片的模擬、數字、射頻功能全集成。
【圖文】:
Ka波段單通道多功能芯片系統(tǒng)框圖
Ka波段四通道多功能芯片系統(tǒng)框圖
【學位授予單位】:電子科技大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2019
【分類號】:TN40
本文編號:2640235
【圖文】:
Ka波段單通道多功能芯片系統(tǒng)框圖
Ka波段四通道多功能芯片系統(tǒng)框圖
【學位授予單位】:電子科技大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2019
【分類號】:TN40
【參考文獻】
相關期刊論文 前1條
1 毛軍發(fā);硅襯底微波集成電路[J];微波學報;2001年01期
相關博士學位論文 前1條
1 劉超;硅基微波/毫米波相控陣收發(fā)芯片設計[D];電子科技大學;2016年
相關碩士學位論文 前1條
1 鄭清友;硅基CMOS毫米波移相器的研究與設計[D];電子科技大學;2015年
,本文編號:2640235
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