【摘要】：晶硅棒料切割是硅片加工中的一道重要工序,由于硅片被廣泛應用于大規(guī)模集成電路和光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)中,因此設計一套效率高、產(chǎn)量大的線切割控制系統(tǒng)意義重大。目前硅片切割主要有游離磨料線切割,金剛石線切割等方式。由于金剛石線切割具有性價比高的優(yōu)點,被廣泛使用。本文基于PLC設計了一套能夠對晶硅棒料進行多片切割的金剛石線切割機控制系統(tǒng)。主要完成了以下內(nèi)容:第一:闡述了國內(nèi)外金剛石線切割控制技術的發(fā)展、現(xiàn)狀及研究意義,并總結了本課題的主要研究內(nèi)容。第二:根據(jù)金剛石線切割機的機械結構,設計出合適的控制系統(tǒng)方案,并具體闡述控制系統(tǒng)收放線部分,排線部分,進料部分,主控單元和顯示部分,張力補償部分需要完成的工作,計算并確定使用的元器件型號。第三:對控制系統(tǒng)輸入輸出部分,張力補償部分,控制器與驅動器電機等硬件部分進行了設計開發(fā),并設計出了整個控制系統(tǒng)接線圖。第四:對控制系統(tǒng)軟件部分進行了設計�；谂_達DOP soft設計出了帶有自動/手動模式兩種模式的觸摸屏監(jiān)控界面,能夠監(jiān)測金剛石線上的張力以及能夠實現(xiàn)實時調速�；谂_達ISP Soft編寫了線切割系統(tǒng)控制程序能夠實現(xiàn)對進料電機和收放線電機,排線電機的準確控制。
【學位授予單位】：青島大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2018
【分類號】：TN305.1

【參考文獻】

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本文編號：2621068