【摘要】：隨著半導(dǎo)體尺寸不斷減小的技術(shù)要求,13.5 nm的極紫外(EUV)光源備受矚目,成為了下一代的光刻光源。EUV光源有望將節(jié)點(diǎn)縮短至10 nm以下,理論上,在達(dá)到10 nm節(jié)點(diǎn)是甚至不需要采用兩次圖形曝光技術(shù)(Double patterning,DP)技術(shù)。然而,要想其能真正產(chǎn)業(yè)化,我們需要解決減少粒子碎屑對(duì)收集鏡面造成的影響以及增加EUV轉(zhuǎn)換效率兩個(gè)關(guān)鍵問題。等離子體物理特性的研究對(duì)于脈沖激光作用靶材產(chǎn)生的EUV光源轉(zhuǎn)換效率的提高以及粒子碎屑產(chǎn)量的降低有重要意義。本論文主要從等離子體羽輝與輻射光譜兩方面研究了等離子體粒子內(nèi)部特性,主要內(nèi)容如下:(1)基于直接成像法拍攝了Nd:YAG激光誘導(dǎo)錫等離子體羽輝膨脹圖像,研究在不同激光能量條件下,不同的緩沖氣體以及不同壓強(qiáng)對(duì)等離子體邊界粒子動(dòng)能、碰撞截面和減緩效率的影響。(2)使用光譜法對(duì)Nd:YAG激光誘導(dǎo)錫等離子體發(fā)射光譜進(jìn)行測(cè)量與記錄,并利用波爾茲曼作圖法和斯塔克展寬分別計(jì)算了等離子體電子溫度和密度,比較了不同激光能量以及不同壓強(qiáng)條件下的等離子體電子溫度和密度。(3)對(duì)Nd:YAG與CO2脈沖激發(fā)Sn產(chǎn)生的等離子體特性進(jìn)行比較。研究了在相同激光能量密度條件下,等離子體粒子動(dòng)能、減緩效率、碰撞截面的變化;以及相同的激光能量條件下,等離子體電子溫度與電子密度的變化。
【學(xué)位授予單位】：華中科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號(hào)】：TN305.7

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 劉超智;竇銀萍;張龍;孫長(zhǎng)凱;郝作強(qiáng);林景全;;雙脈沖激光錫等離子體光源的碎屑動(dòng)力學(xué)研究[J];光譜學(xué)與光譜分析;2015年01期

2 鄭培超;劉紅弟;王金梅;于斌;楊蕊;張斌;王曉蒙;;激光誘導(dǎo)鋁合金等離子體的時(shí)間演化過程研究[J];中國(guó)激光;2014年10期

3 趙斌;鄭堅(jiān);;激光等離子體中電子熱輸運(yùn)現(xiàn)象的數(shù)值模擬[J];中國(guó)科學(xué):物理學(xué) 力學(xué) 天文學(xué);2012年11期

4 朱德華;倪曉武;陳建平;張宏超;;實(shí)驗(yàn)參數(shù)對(duì)激光誘導(dǎo)鋁合金產(chǎn)生等離子體光譜的影響[J];光譜學(xué)與光譜分析;2011年02期

5 張宏超;陸建;倪曉武;;干涉法診斷由納秒激光誘導(dǎo)產(chǎn)生的大氣等離子體的電子密度[J];物理學(xué)報(bào);2009年06期

6 尼啟良;陳波;;CO_2,O_2,CF_4液體微滴噴射靶激光等離子體光源光譜[J];光譜學(xué)與光譜分析;2008年11期

7 蔡懿;王文濤;楊明;劉建勝;陸培祥;李儒新;徐至展;;基于強(qiáng)激光輻照固體錫靶產(chǎn)生極紫外光源的實(shí)驗(yàn)研究[J];物理學(xué)報(bào);2008年08期

8 尼啟良;;Xe液體微滴靶激光等離子體光源實(shí)驗(yàn)[J];光學(xué)精密工程;2006年06期

9 黃慶舉;;激光燒蝕Cu產(chǎn)生等離子體羽的特性研究[J];激光與紅外;2006年10期

10 張福昌;李艷秋;;EUV光刻中激光等離子體光源的發(fā)展[J];微細(xì)加工技術(shù);2006年05期

，

本文編號(hào)：2562566