【摘要】：針對錐形半導(dǎo)體激光器中的脊形波導(dǎo)區(qū)寬度較小的問題,對半導(dǎo)體激光芯片制造中的刻蝕標(biāo)記及刻蝕方法進行了研究。提出對于錐形半導(dǎo)體刻蝕中的脊型區(qū)域和錐形區(qū)域,采用不同精度的雙標(biāo)記刻蝕方法,細化對脊形波導(dǎo)和錐形波導(dǎo)的刻蝕中的對準(zhǔn)問題,并使光刻標(biāo)在不同的光刻版上相錯位排列,在相應(yīng)光刻版中相互遮擋,反復(fù)刻蝕中保證相應(yīng)的光刻標(biāo)清晰、完整�？涛g后的芯片在電流為7 A時獲得了中心波長963nm、連續(xù)功率4.026 W、慢軸方向和快軸方向激光光束參數(shù)乘積分別為1.593 mm·mrad和0.668 mm·mrad的激光輸出。
【圖文】：

偉氳繼?激光芯片刻蝕中的工藝問題。由于錐形半導(dǎo)體脊形波導(dǎo)區(qū)域的寬度較小(＜4μm)，所以在流片中可能導(dǎo)致激光芯片損壞，不會產(chǎn)生激光。本文針對錐形半導(dǎo)體激光器中的脊形波導(dǎo)區(qū)寬度較小的問題，對半導(dǎo)體激光芯片制造中的刻蝕標(biāo)記、刻蝕方法以及刻蝕順序進行了研究。2錐形半導(dǎo)體激光器及各部分刻蝕錐形半導(dǎo)體激光器由兩部分波導(dǎo)區(qū)組成，一部分對脊形波導(dǎo)區(qū)，，提供高光束質(zhì)量激光;另一部分為錐形波導(dǎo)，對脊形波導(dǎo)出射的激光進行放大處理。半導(dǎo)體激光外延片經(jīng)過流片形成的p面電極生長區(qū)為窄條形和梯形的合并圖形，如圖1所示，其中圖形上面白色區(qū)域為p面電極生長區(qū)，藍色區(qū)域為SiO2掩埋層(絕緣層)，圖中呈“八”字形的結(jié)構(gòu)是在脊形波導(dǎo)和錐區(qū)的連接處的高階模破壞槽。圖1錐形半導(dǎo)體激光器Fig．1Taperdiodelaser半導(dǎo)體激光芯片外形尺寸如下:脊形波導(dǎo)的寬度為8μm，長為1000μm;錐形波導(dǎo)的錐角為6°，錐區(qū)長為3000μm;整個半導(dǎo)體激光器外形寬1500μm、長4000μm。根據(jù)錐形半導(dǎo)體激光芯片的外形，在流片中需要刻蝕5次:(1)刻蝕p型區(qū)重摻。(2)刻蝕折射引導(dǎo)的脊形波導(dǎo)。為了更好地限制高階模式，刻蝕進入波導(dǎo)層。(3)刻蝕抑制高階模式激光的泄露槽。泄露槽穿過量子阱層，使高階模在腔內(nèi)損耗增加，從而抑制高階產(chǎn)生。(4)刻蝕錐形激光器芯片間隔的隔離槽。隔離槽也透過有源區(qū)，使每個發(fā)光點之間電流和光進行隔離。(5)SiO2掩埋后，刻蝕p面電極生長區(qū)。3錐形半導(dǎo)體激光器芯片的流片錐形半導(dǎo)體激光器芯片中的脊形波導(dǎo)和錐形

光刻標(biāo)示意圖
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)激光工程研究院;
【分類號】：TN248.4;TN305.7

【相似文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 ;微型面發(fā)光半導(dǎo)體激光器[J];航空精密制造技術(shù);2000年01期

2 ;采用藍色半導(dǎo)體激光器的光盤[J];光機電信息;2000年01期

3 劉鳳英,王艷輝,李桂琴;半導(dǎo)體激光器發(fā)展概論[J];物理與工程;2000年06期

4 完顏圣;半導(dǎo)體激光器商品的未來發(fā)展[J];激光與光電子學(xué)進展;2000年06期

5 郭明秀,俞曉梅;硅基藍光半導(dǎo)體激光器[J];激光與光電子學(xué)進展;2000年09期

6 ;美開發(fā)軍民兩用半導(dǎo)體激光器[J];激光與光電子學(xué)進展;2000年11期

7 江濤;量子阱結(jié)構(gòu)紅外半導(dǎo)體激光器[J];紅外;2000年07期

8 ;半導(dǎo)體激光器[J];中國光學(xué)與應(yīng)用光學(xué)文摘;2001年02期

9 金友;日趨成熟的數(shù)千瓦級半導(dǎo)體激光器[J];光機電信息;2001年01期

10 左慧莉,王林斗;帶有保護功能的半導(dǎo)體激光器穩(wěn)流源[J];儀表技術(shù);2001年06期

相關(guān)會議論文 前10條

1 張興德;;半導(dǎo)體激光器的進展及其在軍事上的應(yīng)用[A];西部大開發(fā) 科教先行與可持續(xù)發(fā)展——中國科協(xié)2000年學(xué)術(shù)年會文集[C];2000年

2 陳良惠;;我國半導(dǎo)體激光器的新進展(報告內(nèi)容摘要)[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國光學(xué)學(xué)會光電技術(shù)專業(yè)委員會成立二十周年暨第十一屆全國光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會議論文集[C];2005年

3 張玉馳;王曉勇;李剛;王軍民;張?zhí)觳?;自由運轉(zhuǎn)半導(dǎo)體激光器邊模間的強度起伏關(guān)聯(lián)[A];中國光學(xué)學(xué)會2006年學(xué)術(shù)大會論文摘要集[C];2006年

4 雷志鋒;黃云;楊少華;;半導(dǎo)體激光器的可靠性篩選和壽命評價[A];中國電子學(xué)會可靠性分會第十三屆學(xué)術(shù)年會論文選[C];2006年

5 徐強;;半導(dǎo)體激光器的矢量光場分析[A];中國光學(xué)學(xué)會2011年學(xué)術(shù)大會摘要集[C];2011年

6 肖樹妹;梅海平;黃宏華;饒瑞中;;半導(dǎo)體激光器電流頻率調(diào)制率的測量[A];第九屆全國光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會論文集（上冊）[C];2010年

7 胡靜芳;陳斌;陸道理;詹敦平;;基于半導(dǎo)體激光器的近紅外農(nóng)產(chǎn)品品質(zhì)專用檢測儀的設(shè)計[A];科學(xué)儀器服務(wù)民生學(xué)術(shù)大會論文集[C];2011年

8 劉賢炳;梁元濤;李蔚;楊名;丁勇;楊寧;徐國偉;龍熙平;楊鑄;;直接調(diào)制半導(dǎo)體激光器的非線性動力學(xué)特性研究[A];全國第十次光纖通信暨第十一屆集成光學(xué)學(xué)術(shù)會議（OFCIO’2001）論文集[C];2001年

9 陳炳林;張河;孫全意;;微型大電流窄脈寬半導(dǎo)體激光器電源的研究[A];中國儀器儀表學(xué)會學(xué)術(shù)論文集[C];2004年

10 許文海;王艷;林龍濤;;半導(dǎo)體激光器環(huán)境溫度控制儀的研究[A];2004全國測控、計量與儀器儀表學(xué)術(shù)年會論文集（下冊）[C];2004年

相關(guān)重要報紙文章 前3條

1 周碩;日亞化學(xué)推出488nm波長半導(dǎo)體激光器[N];電子資訊時報;2008年

2 記者 齊芳邋通訊員 劉力;我國氮化鎵藍光半導(dǎo)體激光器研究取得重大突破[N];光明日報;2007年

3 記者 張兆軍;我大功率半導(dǎo)體激光器“刺破”國外技術(shù)壁壘[N];科技日報;2012年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前10條

1 盧林林;基于重構(gòu)等效啁啾技術(shù)的1.3μm DFB半導(dǎo)體激光器及其陣列研究[D];南京大學(xué);2014年

2 鄧軍;半導(dǎo)體激光器驅(qū)動模式與可靠性研究[D];吉林大學(xué);2008年

3 郜峰利;半導(dǎo)體激光器低頻電噪聲的特性及其檢測技術(shù)研究[D];吉林大學(xué);2008年

4 馮列峰;半導(dǎo)體激光器光電特性的研究[D];天津大學(xué);2007年

5 李再金;半導(dǎo)體激光器腔面光學(xué)膜關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所）;2010年

6 常國龍;半導(dǎo)體激光器輻射效應(yīng)及影響研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

7 范賢光;脈沖注入式半導(dǎo)體激光器電—光—熱特性及其測試技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

8 程東明;無鋁半導(dǎo)體激光器列陣及其組裝技術(shù)的研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所）;2003年

9 曹軍勝;半導(dǎo)體激光器及其列陣的無損檢測技術(shù)研究[D];吉林大學(xué);2007年

10 徐強;半導(dǎo)體激光器光束傳輸特性研究[D];西安電子科技大學(xué);2007年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 邱忠陽;半導(dǎo)體激光器腔面鈍化的研究[D];長春理工大學(xué);2010年

2 劉元元;互注入半導(dǎo)體激光器動態(tài)特性研究[D];西南大學(xué);2011年

3 康健斌;脈沖式半導(dǎo)體激光器驅(qū)動源的設(shè)計[D];西安電子科技大學(xué);2011年

4 郭少華;半導(dǎo)體激光器特性參數(shù)測量系統(tǒng)的設(shè)計研制[D];天津工業(yè)大學(xué);2005年

5 張毅;半導(dǎo)體激光器光混沌和同步的理論研究[D];西南師范大學(xué);2005年

6 徐雅t

本文編號：2525199