單晶硅非球面超精密磨削砂輪的性能參數優(yōu)選
[Abstract]:In order to solve the problem of grinding wheel selection in axisymmetric monocrystalline silicon aspheric ultraprecision grinding, the structural and wear characteristics of several typical disc grinding wheels are analyzed according to the structural characteristics of infrared aspheric lens of monocrystalline silicon. The circular arc diamond grinding wheel is used as the grinding wheel for grinding monocrystalline silicon aspherical lens by vertical grinding method. Through grinding experiments, the effect of grinding wheel performance parameters on aspheric surface grinding quality (surface roughness, surface morphology, subsurface damage thickness, surface shape accuracy) was studied. The diamond grinding wheel with D64 particle size is chosen as the grinding wheel of monocrystalline silicon aspherical surface, the concentration number is C100, and the arc radius of section is 6 mm,. The diamond wheel with D3 particle size is used as the grinding wheel of single crystal silicon aspherical finish grinding.
【作者單位】: 湖南科技大學智能制造研究院難加工材料高效精密加工湖南省重點實驗室;哈爾濱工業(yè)大學機電工程學院;
【基金】:湖南科技大學博士啟動基金(E56118)
【分類號】:TN304.12
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,本文編號:2429987
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