【摘要】：基于聲表面波(SAW)驅動機理設計并仿真了一種微混合器,制備了由4個諧振頻率為49.1 MHz的銅叉指式換能器(IDT)構成的SAW驅動的微混合器(IDT采用剝離工藝制備,使用的基片材料為128°YX型鈮酸鋰,每個IDT有5個叉指對,周期為80μm,指條寬度為5μm,指條厚度為1.6μm),搭建了基于SAW微混合器驅動的微混合平臺,實現(xiàn)了3μL甘油與1μL墨水兩種液滴間的混合以及3μL蒸餾水液滴和平均直徑為1.5μm的紅色微粒之間的混合。實驗結果證明,在驅動功率為9 W、驅動頻率為49.13 MHz的電信號激勵下,SAW微混合器可實現(xiàn)液滴間以及液滴和微粒間在1 s內(nèi)的高速混合,并且液滴內(nèi)部運動與其位于SAW微混合器的位置有關。
[Abstract]:Based on the surface acoustic wave (SAW) driving mechanism, a micro mixer is designed and simulated. The SAW driven micro mixer (IDT), which is composed of four copper cross finger transducers (IDT) with four resonant frequencies of 49.1 MHz, is fabricated by stripping process. The substrate material is 128 擄YX type lithium niobate, each IDT has five cross finger pairs, the period is 80 渭 m, the finger width is 5 渭 m, the finger thickness is 1.6 渭 m), and a micro mixing platform based on SAW micromixer is built. The mixture of 3 渭 L glycerol and 1 渭 L ink and 3 渭 L distilled water droplets and red particles with an average diameter of 1.5 渭 m were realized. The experimental results show that under the excitation of electric signal with driving power of 9 W and driving frequency of 49.13 MHz, the saw micro mixer can realize the high speed mixing between droplets and particles within 1 s. And the internal motion of the droplet is related to the location of the SAW micromixer.
【作者單位】： 上海應用技術大學理學院;上海應用技術大學機械工程學院;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51405303) 上海應用技術大學協(xié)同創(chuàng)新平臺資助項目(3921NH166019);上海應用技術大學畢業(yè)設計重點資助項目(1011XQ171087)
【分類號】：TN65

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本文編號：2156271