本文選題：光學(xué)制造 + X射線光學(xué)��； 參考：《光學(xué)學(xué)報》2017年02期

【摘要】：開展了動態(tài)氣體鎖抑制率的實驗研究,設(shè)計了一套極紫外真空動態(tài)氣體鎖實驗驗證系統(tǒng);進行了真空抽氣系統(tǒng)的詳細(xì)設(shè)計,形成了具有實際可操作性的真空系統(tǒng)的最終布局;指出了該實驗驗證系統(tǒng)的驗證方法;進行了動態(tài)氣體鎖實驗,并對實驗結(jié)果進行了分析,驗證了動態(tài)氣體鎖理論模型和仿真結(jié)果的正確性。實驗研究結(jié)果表明,當(dāng)污染氣體放氣率恒定時,增加清潔氣體總流量將使動態(tài)氣體鎖抑制率逐步增加;同等條件下動態(tài)氣體鎖抑制率不隨污染氣體放氣率的改變而改變;當(dāng)清潔氣體總流量和污染氣體放氣率都恒定時,動態(tài)氣體鎖抑制率隨清潔氣體相對分子質(zhì)量的增加而緩慢增加。該動態(tài)氣體鎖抑制率實驗研究結(jié)果,能夠為極紫外光刻機動態(tài)氣體鎖的研制提供實驗依據(jù)。
[Abstract]:The experimental study of dynamic gas lock inhibition rate is carried out, a set of ultra-ultraviolet vacuum dynamic gas lock experimental verification system is designed, the vacuum extraction system is designed in detail, and the final layout of the vacuum system with practical maneuverability is formed. The verification method of the experimental verification system is pointed out, and the dynamic gas lock experiment is carried out, and the experimental results are analyzed to verify the correctness of the theoretical model and the simulation results of the dynamic gas lock. The experimental results show that when the discharge rate of polluted gas is constant, the inhibition rate of dynamic gas lock will increase gradually by increasing the total flow rate of clean gas, but the inhibition rate of dynamic gas lock will not change with the change of discharge rate of polluted gas under the same conditions. The inhibition rate of dynamic gas lock increases slowly with the increase of the relative molecular weight of clean gas when the total flow rate of clean gas and the discharge rate of polluted gas are both constant. The experimental results can provide experimental basis for the development of dynamic gas lock of extreme ultraviolet lithography machine.
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電研究院;北京市準(zhǔn)分子激光工程技術(shù)研究中心;
【基金】：國家科技重大專項(2012ZX02702007)
【分類號】：TN305.7

【參考文獻】

相關(guān)期刊論文 前2條

1 陳進新;王宇;謝婉露;;極紫外光刻動態(tài)氣體鎖抑制率的理論研究[J];激光與光電子學(xué)進展;2016年05期

2 陳進新;王魁波;王宇;;極紫外真空動態(tài)氣體鎖流場分析與研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2015年08期

【共引文獻】

相關(guān)期刊論文 前3條

1 陳進新;王宇;謝婉露;;極紫外光刻動態(tài)氣體鎖抑制率的仿真研究[J];激光與光電子學(xué)進展;2017年02期

2 陳進新;王宇;謝婉露;;極紫外光刻動態(tài)氣體鎖抑制率的實驗研究[J];光學(xué)學(xué)報;2017年02期

3 陳進新;王宇;謝婉露;;極紫外光刻動態(tài)氣體鎖抑制率的理論研究[J];激光與光電子學(xué)進展;2016年05期

【二級參考文獻】

相關(guān)期刊論文 前1條

1 陳進新;王魁波;王宇;;極紫外真空動態(tài)氣體鎖流場分析與研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2015年08期

【相似文獻】

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1 郭婷婷;毛懿;張競濤;于麗天;譚慧瓊;;100mg和300mg阿司匹林對血小板抑制率的影響及臨床意義[A];中國心臟大會（CHC）2011暨北京國際心血管病論壇論文集[C];2011年

2 趙良運;丘少鵬;周彤q，

本文編號：2083140