本文選題：光學(xué)器件 + 平面光柵單色器��； 參考：《激光與光電子學(xué)進(jìn)展》2017年02期

【摘要】：介紹了一種掠入射式多包含角平面光柵單色器的設(shè)計(jì)原理,從理論上對(duì)其可行性進(jìn)行了分析和驗(yàn)證。該單色器系統(tǒng)對(duì)SX-700型單色器進(jìn)行了改進(jìn),通過(guò)簡(jiǎn)單地升降多角平面反射鏡即可對(duì)覆蓋某個(gè)波長(zhǎng)范圍的包含角進(jìn)行改變,選擇所需的單色光波長(zhǎng)。通過(guò)光學(xué)仿真軟件X-LAB模擬了光束入射到多角平面反射鏡的單個(gè)角度的反射面時(shí),單色器對(duì)軟X射線波段1~2.48nm的單色化效果,從理論上驗(yàn)證了本設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)寬能譜掃描及高次諧波的抑制,并且該單色器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于在實(shí)際應(yīng)用中得以推廣。
[Abstract]:This paper introduces the design principle of a grazing incidence multi-inclusion plane grating Monochromator and its feasibility is analyzed and verified theoretically. The Monochromator system improves the SX-700 Monochromator. By simply lifting the polygonal plane reflector, the inclusion angle covering a certain wavelength range can be changed, and the required monochromatic wavelength can be selected. The monochromatic effect of the Monochromator on the soft X-ray band 1~2.48nm is simulated by the optical simulation software X-lab when the beam is incident to the single angle reflector of the polygonal plane reflector. It is proved theoretically that the design can realize wide spectrum scanning and high order harmonic suppression, and the Monochromator has a simple structure and is easy to be popularized in practical application.
【作者單位】： 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心等離子體物理重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中南大學(xué)物理與電子學(xué)院;
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)(2012YQ130125) 國(guó)家自然科學(xué)基金(11375160)
【分類號(hào)】：TN25

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前6條

1 盧啟鵬;宋源;龔學(xué)鵬;馬磊;;極高分辨變包含角平面光柵單色器關(guān)鍵技術(shù)及檢測(cè)方法研究[J];中國(guó)光學(xué);2016年02期

2 龔學(xué)鵬;盧啟鵬;彭忠琦;;軟X射線譜學(xué)顯微光束線單色器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及精度測(cè)試[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2013年02期

3 陳家華;薛松;盧啟鵬;彭忠琦;邰仁忠;王勇;陳明;吳坤;;變包含角平面光柵單色器及其關(guān)鍵技術(shù)[J];中國(guó)科學(xué):物理學(xué) 力學(xué) 天文學(xué);2011年01期

4 吳坤;薛松;盧啟鵬;彭忠琦;陳家華;劉楷;;SX-700單色器光柵正弦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)角重復(fù)精度的模擬分析與測(cè)量[J];光學(xué)精密工程;2010年01期

5 盧啟鵬;同步輻射軟X射線束線單色器[J];光機(jī)電信息;2001年09期

6 姜亞光,黃佩倩,曹國(guó)榮;復(fù)合全息透鏡用作單色器[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1987年01期

【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 彭倩;魏來(lái);范全平;楊祖華;王心怡;張強(qiáng)強(qiáng);易有根;曹磊峰;;掠入射多包含角平面光柵單色器的設(shè)計(jì)[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2017年02期

2 盧啟鵬;宋源;龔學(xué)鵬;馬磊;;極高分辨變包含角平面光柵單色器關(guān)鍵技術(shù)及檢測(cè)方法研究[J];中國(guó)光學(xué);2016年02期

3 龔學(xué)鵬;盧啟鵬;;X射線干涉光刻光束線關(guān)鍵光學(xué)元件熱-結(jié)構(gòu)耦合分析[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2015年10期

4 崔程光;王淑榮;李博;王俊博;黃煜;;紫外可見NMOS線陣圖像傳感器量子效率的定標(biāo)研究[J];紅外與激光工程;2015年09期

5 陳至坤;王淑香;王玉田;王福斌;;光柵光譜儀光路結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)[J];應(yīng)用光學(xué);2015年05期

6 龔學(xué)鵬;盧啟鵬;彭忠琦;;X射線干涉光刻光束線偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與測(cè)試[J];光學(xué)精密工程;2014年08期

7 龔學(xué)鵬;盧啟鵬;彭忠琦;;軟X射線譜學(xué)顯微光束線單色器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及精度測(cè)試[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2013年02期

8 任玲玲;高慧芳;;X射線衍射儀的X射線溯源[J];計(jì)量技術(shù);2012年08期

9 龔學(xué)鵬;李明哲;盧啟鵬;彭忠琦;;連續(xù)多點(diǎn)成形中的成形載荷分析[J];光學(xué)精密工程;2012年06期

10 馬磊;盧啟鵬;彭忠琦;;譜學(xué)顯微光束線光斑水平漂移分析與檢測(cè)[J];光學(xué)精密工程;2012年03期

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 宋源;盧啟鵬;彭忠琦;龔學(xué)鵬;;前置平面鏡熱負(fù)載對(duì)變包含角平面光柵單色器分辨率的影響[J];中國(guó)光學(xué);2014年01期

2 龔學(xué)鵬;盧啟鵬;彭忠琦;;軟X射線譜學(xué)顯微光束線單色器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及精度測(cè)試[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2013年02期

3 高颯颯;盧啟鵬;彭忠琦;龔學(xué)鵬;;X射線干涉光刻偏轉(zhuǎn)聚焦系統(tǒng)熱載影響與分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2012年12期

4 李云;邢廷文;;采用非均勻有理B樣條曲面延展光學(xué)元件面形誤差[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2012年07期

5 馬磊;盧啟鵬;彭忠琦;;譜學(xué)顯微光束線光斑水平漂移分析與檢測(cè)[J];光學(xué)精密工程;2012年03期

6 薛慶生;黃煜;林冠宇;;大視場(chǎng)高分辨力星載成像光譜儀光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年08期

7 于磊;王淑榮;曲藝;林冠宇;張振鐸;;用于電離層探測(cè)的單光柵高分辨率成像光譜儀光學(xué)系統(tǒng)研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年07期

8 孔鵬;巴音賀希格;李文昊;唐玉國(guó);崔錦江;;雙光柵平場(chǎng)全息凹面光柵光譜儀的優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年02期

9 陳家華;薛松;盧啟鵬;彭忠琦;邰仁忠;王勇;陳明;吳坤;;變包含角平面光柵單色器及其關(guān)鍵技術(shù)[J];中國(guó)科學(xué):物理學(xué) 力學(xué) 天文學(xué);2011年01期

10 盧啟鵬;馬磊;彭忠琦;;變包含角平面光柵單色器掃描轉(zhuǎn)角精度的檢測(cè)[J];光學(xué)精密工程;2010年07期

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前3條

1 印建平;一種測(cè)試平面光柵衍射效率的改進(jìn)方案[J];儀器儀表學(xué)報(bào);1995年03期

2 丘文照;;國(guó)產(chǎn)WSP-2半米平面光柵測(cè)定超痕量金方法介紹[J];鈾礦地質(zhì);1990年01期

3 ;[J];;年期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 曹海霞;寬波段平面光柵效率測(cè)試儀設(shè)計(jì)及測(cè)量誤差補(bǔ)償方法研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2014年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前3條

1 宋源;變包含角平面光柵單色器的光譜分辨率影響因素及相關(guān)檢測(cè)技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2013年

2 廉孟冬;基于激光角度傳感器和平面光柵的二維微位移直接解耦測(cè)量技術(shù)[D];浙江大學(xué);2011年

3 羅燕萍;基于FDTD的變柵距平面光柵衍射光譜分析[D];中國(guó)計(jì)量學(xué)院;2012年

，

本文編號(hào)：2010150