本文選題：微環(huán)諧振腔 + 絕緣體上硅　； 參考：《實驗室研究與探索》2016年01期

【摘要】：為研究雙環(huán)諧振腔結構力敏傳感特性,設計了不同半徑比的基于絕緣襯底上硅的雙環(huán)微腔結構。通過理論分析以及實驗測試并結合有限元仿真得出:半徑比為3∶1的雙環(huán)結構的靈敏度為80.26 pm/MPa;而半徑比為1∶1的雙環(huán)結構的靈敏度高達128.87 pm/MPa,具有高的檢測靈敏度,表明雙環(huán)微腔敏感結構單元可應用于應力檢測領域。
[Abstract]:In order to study the sensing characteristics of double ring resonator structure, a double ring microcavity structure based on silicon on insulating substrate with different radius ratio is designed. Through theoretical analysis, experiment and finite element simulation, it is shown that the sensitivity of two-ring structure with a radius ratio of 3:1 is 80.26 pm / MPa, while that of a two-ring structure with a radius ratio of 1:1 is as high as 128.87 pm / MPa, which has high detection sensitivity. The results show that the double ring microcavity sensitive structure element can be used in the field of stress detection.
【作者單位】： 中北大學電子測試技術重點實驗室;儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金重點支持項目(91123036);國家自然科學基金杰出青年基金(51225504)
【分類號】：TN252

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本文編號：2004661