本文選題：Si基微結構 + RCWA��； 參考：《紅外與激光工程》2017年04期

【摘要】：采用微加工工藝在Si襯底上制備了微柱和微錐陣列,結合光學建模分析,研究了結構參數(shù)對中長波(2.5~9μm)紅外光反射率的影響規(guī)律。使用嚴格耦合波分析方法(RCWA)計算的微結構反射光衍射效率與傅里葉紅外變換光譜儀(FTIR)測試的反射率結果吻合較好。研究結果表明,Si基微結構對TM及TE偏振光均有良好的紅外光減反特性,微錐結構具有更好的減反效果,2.5~6.5μm中紅外偏振光的反射率低至2%,同時表現(xiàn)出良好的寬譜與廣角度減反特性。
[Abstract]:Microcolumns and microtaper arrays were fabricated on Si substrates by microfabrication. The effect of structural parameters on infrared reflectance of medium long wavelength (LWV) 2.59 渭 m was studied by optical modeling and analysis. The diffraction efficiency calculated by using the strictly coupled wave analysis method (RCWA) is in good agreement with the reflectivity measured by Fourier transform Spectrometer (FTIR). The results show that Si-based microstructures have good infrared light reflectivity to TM and te polarized light, and microcone structure has better antireflection effect. The reflectivity of infrared polarized light in 2.5 渭 m is as low as 2. 5 渭 m. At the same time, it shows good wide spectrum and wide angle reflectance reduction characteristics.
【作者單位】： 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所;西安交通大學金屬材料強度國家重點實驗室;
【基金】：中科院百人計劃(Y6BEQ11001)
【分類號】：TN21

【相似文獻】

相關期刊論文 前10條

1 Farzad.(?）ourahmadi,Phillipw.Barth,Kurt Petersen,柯導明;硅微結構中熱和機械應力的模擬[J];電子器件;1990年03期

2 彭英才;半導體量子微結構及其研究進展[J];大自然探索;1993年03期

3 鞠揮;尋找微結構的市場[J];光機電信息;1999年11期

4 鄭小嬋;王德苗;王文婷;周洋;;微秒脈沖激光誘導硅表面微結構的研究[J];真空科學與技術學報;2014年06期

5 袁春華;李曉紅;唐多昌;楊宏道;李國強;;不同氣氛下飛秒激光誘導硅表面微結構[J];強激光與粒子束;2010年11期

6 張磊;葉輝;皇甫幼睿;詹文博;劉旭;;氧化硅襯底上高密度鍺量子點的微結構研究[J];真空科學與技術學報;2011年06期

7 王俊;劉剛;熊瑛;郭育華;朱學林;田揚超;;陶瓷微結構的制作研究[J];微細加工技術;2006年06期

8 曹志峰;段好偉;徐寶龍;張娟;李劍平;;ZnO花狀微結構合成研究[J];材料導報;2007年09期

9 閆永達,孫濤,程凱,趙清亮,董申;基于AFM的微結構加工實驗研究[J];電子顯微學報;2003年03期

10 劉盛,陶海征,趙修建,董國平;Pr~(3+)摻雜GeS_2-Ga_2S_3-NaCl玻璃的微結構與發(fā)光屬性[J];武漢理工大學學報;2005年07期

相關博士學位論文 前5條

1 黃金國;微結構表面紅外熱輻射特性調控方法研究[D];南京理工大學;2015年

2 畢宴鋼;有機電致發(fā)光器件的微結構電極研究[D];吉林大學;2016年

3 董亭亭;仿生蛾眼抗反射微結構光學機理研究[D];長春理工大學;2016年

4 安強;透明光學材料中的光子導波微結構：制備與特性研究[D];山東大學;2014年

5 楊煥;激光制作綠色能源電池微結構部件技術的研究[D];華中科技大學;2015年

相關碩士學位論文 前9條

1 呂平;高密度封裝基板濺射薄層微結構研究[D];復旦大學;2014年

2 梁燕飛;Pd摻雜花狀In_2O_3微結構的制備及其氣敏特性研究[D];太原理工大學;2016年

3 馬君郡;單晶硅表面減反射微結構的優(yōu)化研究[D];云南師范大學;2016年

4 林真源;介電微球誘導激光—化學復合法制備單晶硅表面功能性微結構的研究[D];北京工業(yè)大學;2016年

5 徐東;紫外納秒激光直寫銅膜微結構的研究[D];天津大學;2014年

6 陳娜娜;高雙折射/寬帶微結構太赫茲光纖的設計與特性研究[D];中國科學院研究生院（西安光學精密機械研究所）;2014年

7 高翻琴;ZnO微結構的合成、表面改性及其氣敏性研究[D];太原理工大學;2015年

8 溫正湖;三維微結構的激光熱塑成型系統(tǒng)研究[D];浙江大學;2010年

9 劉東旭;動態(tài)激光成型技術及水凝膠微結構的制備[D];吉林大學;2014年

，

本文編號：1868222