本文選題：薄膜體聲波諧振(FBAR)濾波器 + 發(fā)展趨勢��； 參考：《壓電與聲光》2017年02期

【摘要】：薄膜體聲波諧振(FBAR)濾波器具有體積小,性能高,一致性及可制造性好等優(yōu)勢,相關(guān)產(chǎn)品已被廣泛應(yīng)用于移動通信市場。通過對FBAR技術(shù)的基本原理和器件結(jié)構(gòu),討論了FBAR技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢,表明其未來向?qū)拵Щ?高功率化,高溫度穩(wěn)定性及小型化等方向發(fā)展。
[Abstract]:The thin film acoustic wave resonance (FBAR) filter has the advantages of small size, high performance, good consistency and good manufacturability. The related products have been widely used in the mobile communication market. Through the basic principle and device structure of FBAR technology, the status and development trend of FBAR technology are discussed, which show that the future to broadband, high power, high temperature stability. Development in the direction of qualitative and miniaturization.

【作者單位】： 中國電子科技集團(tuán)公司第二十四研究所;中機(jī)中聯(lián)工程有限公司;中國電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所;電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國家重點實驗室;
【基金】：總裝預(yù)研基金資助項目
【分類號】：TN713;TN65

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本文編號：1836960