本文選題：石英微機(jī)械 + 陀螺��； 參考：《壓電與聲光》2017年03期

【摘要】：石英微機(jī)械陀螺敏感芯片通常采用雙端音叉結(jié)構(gòu),驅(qū)動(dòng)音叉和檢測(cè)音叉的振動(dòng)耦合誤差是其主要誤差源。對(duì)雙端音叉結(jié)構(gòu)陀螺敏感芯片進(jìn)行了結(jié)構(gòu)解耦設(shè)計(jì)仿真,分析了芯片安裝區(qū)對(duì)檢測(cè)音叉振動(dòng)特性的影響。通過(guò)解耦設(shè)計(jì),減小了零偏誤差信號(hào),提高了陀螺敏感芯片的穩(wěn)定性。
[Abstract]:The quartz micro - mechanical gyro sensitive chip usually adopts a double - end tuning fork structure , and the vibration coupling error of the driving fork and the detection tuning fork is the main error source . The structure decoupling design simulation is carried out on the sensitive chip of the double - end tuning fork structure gyro , and the influence of the chip mounting area on the detection of the vibration characteristics of the tuning fork is analyzed .

【作者單位】： 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所;
【分類號(hào)】：TN402;TN96

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本文編號(hào)：1836722