本文選題：銦鎵鋅氧化物薄膜晶體管 + 遷移率　； 參考：《光電子技術》2016年04期

【摘要】：論述了IGZO TFT技術的背景、技術優(yōu)勢和應用。詳細介紹了IGZO TFT的結構,性能和生產工藝,并對IGZO TFT生產線存在的問題和發(fā)展趨勢做出了展望。
[Abstract]:The background, technical advantages and application of IGZO TFT technology are discussed. The structure, performance and production process of IGZO TFT are introduced in detail, and the problems and development trend of IGZO TFT production line are prospected.
【作者單位】： 南京中電熊貓平板顯示科技有限公司戰(zhàn)略情報部;
【分類號】：TN321.5

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本文編號：1828397