本文選題：測量 + 非球面檢測　； 參考：《中國激光》2017年01期

【摘要】：空間光調制器(SLM)可以在電驅動等信號控制下,實時調節(jié)振幅、相位、偏振態(tài)等信息,近年來已被嘗試用于代替計算全息(CGH)板實現(xiàn)非球面檢測。SLM像素尺寸在3.5~20μm,遠大于CGH板刻蝕分辨率,使得SLM的相位調制量在像素尺度離散化,與理想的連續(xù)相位存在誤差,帶來檢測精度的降低。因此,有必要評估SLM像素尺寸對檢測精度的影響,從而選擇合適像素尺寸的SLM。基于菲涅耳衍射原理以及快速傅里葉變換算法,仿真波面經(jīng)SLM調制并傳播到待測表面的過程,并探究待測面處生成波面精度與SLM像素尺寸大小之間的關系。對多組波面進行仿真并分析波面誤差分布發(fā)現(xiàn),SLM生成補償波面誤差與SLM像素尺寸所能表示的最大頻率相關,檢測時需保證SLM像素尺寸所能表示的最大頻率大于補償波面頻率最大值。
[Abstract]:Spatial light modulator (SLM) can adjust amplitude, phase, polarization state and other information in real time under the control of electric drive and other signals. In recent years, it has been tried to replace the CGH board to realize the.SLM pixel size of aspherical detection in 3.5~20 mu m, which is far greater than the resolution of CGH plate etching, so that the phase modulation of SLM is discretized in the pixel scale. Therefore, it is necessary to evaluate the effect of SLM pixel size on detection precision, so that SLM. based on the Fresnel diffraction principle and fast Fourier transform algorithm are selected to simulate the process of the wave surface modulated by SLM and spread to the surface, and to explore the surface of the test surface. The relationship between the wavefront accuracy and the size of the SLM pixel is generated. The simulation of multiple sets of wavefront and the analysis of the distribution of the wavefront error find that the SLM generated compensation wave surface error is related to the maximum frequency of the SLM pixel size, and the maximum frequency of the SLM pixel size is greater than the maximum of the compensation wave plane.

【作者單位】： 中國科學院上海光學精密機械研究所強激光材料重點實驗室;中國科學院大學;
【基金】：國家自然科學基金青年科學基金(11602280)
【分類號】：TN761

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本文編號：1786596