本文選題：材料 + 亞表面損傷�。� 參考：《激光與光電子學(xué)進(jìn)展》2017年10期

【摘要】：亞表面損傷(SSD)的系統(tǒng)表征和準(zhǔn)確檢測是控制光學(xué)材料加工表層損傷的關(guān)鍵。將SSD的表征方法和檢測技術(shù)相結(jié)合,綜述了光學(xué)材料SSD檢測評價方法的研究進(jìn)展;分析了超精密加工產(chǎn)生的SSD結(jié)構(gòu)和表征參量;針對SSD的幾何表征參量,介紹了幾種典型的損傷性檢測技術(shù)及其技術(shù)特點(diǎn)和適用范圍;重點(diǎn)介紹了幾種滿足超精密加工檢測要求的無損傷檢測技術(shù),并分析了其技術(shù)優(yōu)勢和發(fā)展瓶頸;對比了國內(nèi)外SSD的表征與檢測技術(shù)水平,并對SSD檢測技術(shù)的發(fā)展趨勢進(jìn)行了展望。
[Abstract]:The systematic characterization and accurate detection of subsurface damage (SSD) is the key to control the surface damage of optical materials.The research progress of SSD detection and evaluation methods for optical materials is reviewed by combining the characterization method of SSD with detection technology. The structure and characterization parameters of SSD produced by ultra-precision machining are analyzed. The geometrical characterization parameters of SSD are analyzed.This paper introduces several typical damage detection techniques, their technical characteristics and application scope, emphatically introduces several non-damage detection technologies which meet the requirements of ultra-precision machining inspection, and analyzes their technical advantages and development bottlenecks.The characterization and detection technology level of SSD at home and abroad are compared, and the development trend of SSD detection technology is prospected.
【作者單位】： 浙江工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;浙江師范大學(xué)工學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金面上項目(11672356) 浙江省教育廳一般科研項目(Y201636134)
【分類號】：TN204

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本文編號：1767991