本文關(guān)鍵詞： 激光技術(shù) 激光損傷修復(fù) 時(shí)域有限差分法 瑞利-索末菲衍射積分　出處：《中國激光》2016年06期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：針對三倍頻光學(xué)元件后表面的損傷修復(fù)形貌,分別采用時(shí)域有限差分法(FDTD)和瑞利-索末菲(R-S)衍射積分法,來模擬不同形貌下元件修復(fù)區(qū)域內(nèi)以及其后續(xù)的光場分布。結(jié)果表明,當(dāng)修復(fù)坑截面輪廓線端點(diǎn)切線與光束傳播方向夾角大于70°時(shí),元件內(nèi)部光強(qiáng)極大值小于1.66,修復(fù)效果優(yōu)于其他角度。夾角為70°、寬200μm的拋物面型、圓錐型和圓臺型凹坑的后續(xù)光強(qiáng)極大值小于1.46。但是當(dāng)修復(fù)坑寬度較大如達(dá)到1mm時(shí),圓臺型凹坑的后續(xù)光強(qiáng)極大值高達(dá)9.31,且作用區(qū)間長。因此,考慮實(shí)際激光修復(fù)工藝的難度,夾角大于70°的圓錐型凹坑是石英元件后表面損傷修復(fù)的首選形貌。
[Abstract]:In view of the damage repair morphology of triple-frequency optical elements, FDTD and Rayleigh Sommerfeld R-S diffraction integration methods were used to simulate the light field distribution in the repair region and its follow-up under different morphologies, respectively, using FDTD and Rayleigh Sommerfeld diffraction integration method. When the angle between the end tangent of the profile of the repairing pit section and the direction of beam propagation is greater than 70 擄, the maximum of light intensity inside the element is less than 1.66, and the repair effect is superior to that of other angles, which is a paraboloid with an angle of 70 擄and a width of 200 渭 m. The maximum value of subsequent light intensity of conical and platform type cones is less than 1.46.However, when the width of repairing pit is larger than 1 mm, the maximum value of subsequent light intensity of conical pit is up to 9.31, and the range of action is long. Therefore, the difficulty of practical laser repair technology is considered. Conical pits with an angle greater than 70 擄are the preferred morphology for surface damage repair of quartz elements.
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光物理聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：中國科學(xué)院青年創(chuàng)新促進(jìn)會(huì)
【分類號】：TN249

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