本文關鍵詞： 壓電驅動平臺 非對稱致動器 慣性力 率相關遲滯 電荷驅動　出處：《壓電與聲光》2017年06期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：一個高速壓電驅動平臺的性能經(jīng)常被支撐結構的低諧振頻率所限制。采用一種非對稱致動器可消除傳到基座上的慣性力,但傳統(tǒng)的電壓驅動方法會引起嚴重的率相關遲滯,慣性力補償效果不佳。該文提出采用電荷驅動法來消除非對稱致動器產生的慣性力。實驗表明,在激勵電壓峰-峰值為20V時,采用電荷驅動法,在110Hz~10kHz內慣性力基本消除,補償效果比電壓驅動方法好。
[Abstract]:The performance of a high speed piezoelectric platform is often limited by the low resonant frequency of the supporting structure. An asymmetric actuator is used to eliminate the inertial force transmitted to the base. However, the traditional voltage drive method can cause serious rate dependent hysteresis, and the inertial force compensation effect is not good. In this paper, a charge drive method is proposed to eliminate the inertia force generated by asymmetric actuator. When the peak value of excitation voltage is 20 V, the inertial force is basically eliminated at 110 Hz / 10 kHz by using the charge drive method, and the compensation effect is better than that of the voltage drive method.
【作者單位】： 中國科學技術大學工程科學學院;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51175488) 國家科技支撐計劃資助項目(2015BAK34B02)
【分類號】：TN384
【正文快照】： 0引言壓電致動器因具有緊湊的結構、較大的剛度和較快的響應速度,被廣泛應用于各種微定位平臺上。對于具有大帶寬的高速壓電驅動平臺,一般設計小尺寸的致動器來獲得高諧振頻率。但用于安裝致動器的支撐底座由于各種非理想因素的影響,經(jīng)常呈現(xiàn)很低的諧振頻率[1]。低頻時,基座的

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本文編號：1477528