本文關(guān)鍵詞： 體聲波 濾波器 薄膜體聲波諧振器 變跡電極 聲-電磁協(xié)同仿真 布局　出處：《強(qiáng)激光與粒子束》2017年11期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：針對(duì)無人機(jī)測(cè)控應(yīng)用設(shè)計(jì)了一種S波段窄帶帶通體聲波(BAW)濾波器,其技術(shù)指標(biāo)為:中心頻率2.46 GHz,帶寬41 MHz,帶內(nèi)插損大于-3 d B,帶內(nèi)紋波小于1 d B,帶外抑制小于-40 d B@2.385 GHz和2.506 GHz。采用Mason模型設(shè)計(jì)了BAW濾波器中各薄膜體聲波諧振器(FBAR)的疊層結(jié)構(gòu);使用變跡法設(shè)計(jì)了各FBAR(電極)的形狀;采用一種自行開發(fā)的自動(dòng)布局方法得到緊湊的BAW濾波器布局;建立了BAW濾波器的聲-電磁協(xié)同仿真模型,通過這種高保真的多物理場(chǎng)仿真方法對(duì)設(shè)計(jì)結(jié)果進(jìn)行了性能驗(yàn)證。該設(shè)計(jì)流程是通用的,并且有兩個(gè)特點(diǎn):采用聲-電磁協(xié)同仿真方法對(duì)設(shè)計(jì)階段的BAW濾波器進(jìn)行最終性能檢驗(yàn),可以及早發(fā)現(xiàn)并拒絕1D Mason模型過于樂觀的設(shè)計(jì);濾波器布局設(shè)計(jì)中采用了一種新的自動(dòng)化布局方法,大大簡(jiǎn)化了在此階段的反復(fù)嘗試工作,也為聲-電磁協(xié)同仿真模型輸出了必需的面內(nèi)結(jié)構(gòu)信息。
[Abstract]:A S-band narrowband all-body acoustic wave filter (BAW) is designed for UAV measurement and control applications. Its technical specifications are as follows: central frequency 2.46 GHz, bandwidth 41 MHz. The band insertion loss is greater than 3 dB and the band ripple is less than 1 dB. The out-of-band suppression is less than -40 dB @ 2.385 GHz and 2.506 GHz. The thin film bulk acoustic resonator in the BAW filter is designed by using the Mason model. The laminated structure; The shapes of FBARs are designed by using the method of apodization. The compact BAW filter layout is obtained by using a self-developed automatic layout method. The acoustic-electromagnetic cooperative simulation model of BAW filter is established, and the design results are verified by this high-fidelity multi-physical field simulation method. The design flow is universal. And there are two characteristics: using acoustic-electromagnetic cooperative simulation method to test the final performance of the BAW filter in the design stage can find and reject the over-optimistic design of 1D Mason model as early as possible; A new automatic layout method is adopted in the filter layout design, which greatly simplifies the repeated attempts at this stage and outputs the necessary in-plane structure information for the acousto-electromagnetic cooperative simulation model.
【作者單位】： 中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所;中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所核探測(cè)與核電子學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;西南科技大學(xué)信息工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61574131) 中國(guó)工程物理研究院超精密加工技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金項(xiàng)目(2014ZA001) 西南科技大學(xué)特殊環(huán)境機(jī)器人技術(shù)四川省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金項(xiàng)目(14ZXTK01)
【分類號(hào)】：TN713
【正文快照】： 隨著全球無線通信市場(chǎng)的發(fā)展,射頻前端產(chǎn)品的需求量急劇上升。濾波器作為射頻前端的核心器件,對(duì)推動(dòng)新一代5G通信標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)展、個(gè)人移動(dòng)終端的小型化和多功能化有著重要的意義�；趬弘姳∧げ牧系捏w聲波(BAW)濾波器,具有陡峭的濾波曲線、低插入損耗和優(yōu)良的帶外抑制能力[1],因

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本文編號(hào)：1459097