本文關(guān)鍵詞： 激光制造 飛秒激光 雙光子聚合加工 空間光調(diào)制器 計算全息　出處：《中國激光》2017年01期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：針對飛秒激光微納加工技術(shù)中激光與加工樣品相對運動的控制、聚焦光斑能量的控制中存在的問題,提出一種基于硅基液晶空間光調(diào)制器動態(tài)加載計算全息圖同時控制焦點位置和能量的新型加工方法。該方法通過加載疊加閃耀光柵的全息圖,控制單點運動來掃描加工二維結(jié)構(gòu),無需平臺移動。進一步控制全息圖的挖空區(qū)域,可以調(diào)制入射光斑的能量,進而控制被加工點陣的形貌。利用這一加工效應(yīng),成功實現(xiàn)各種可控環(huán)狀結(jié)構(gòu)的加工,并在光學顯微鏡下測試達到相應(yīng)效果,證明這種加工方法在飛秒激光微納加工領(lǐng)域具有可行性。
[Abstract]:Aiming at the control of relative motion between laser and sample in femtosecond laser micro-nano machining technology and the control of focusing spot energy, there are some problems. A new processing method based on silicon based liquid crystal spatial light modulator is proposed, which can control the focus position and energy simultaneously by dynamically loading the CGH, and the hologram with superimposed blazed grating is loaded in this method. The single point motion is controlled to scan and process the two-dimensional structure without the platform moving, and the holographic hologram can be further controlled to modulate the energy of the incident spot. Then the morphologies of the processed lattice are controlled. By using this processing effect, the fabrication of various controllable ring structures is successfully realized, and the corresponding effect is obtained by optical microscope test. It is proved that this method is feasible in the field of femtosecond laser micromachining.
【作者單位】： 中國科學技術(shù)大學精密機械與精密儀器系;
【基金】：國家自然科學基金(51275502,61475149,51405464,91223203,91423103,11204250) 中國青年千人計劃 安徽省自然科學基金(1408085ME104) 中央高校基本科研業(yè)務(wù)費專項資金(WK6030000004)
【分類號】：TN761;TN249
【正文快照】： 飛秒激光加工技術(shù)已成為微納加工領(lǐng)域的前沿技術(shù)之一[1]。與傳統(tǒng)連續(xù)長脈沖激光相比,飛秒激光在微納加工方面具有許多不可比擬的獨特優(yōu)勢,如真三維、分辨率高、熱影響小和加工材料廣泛等優(yōu)點[2-3]。飛秒激光的這些優(yōu)勢,使其在微光學、微機械、微流體和生物醫(yī)學等領(lǐng)域都有廣泛

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本文編號：1447015